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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种长寿命旋转阴极磁控溅射靶材-CN202223098113.9有效
发明人：刘阳;刘彬;王磊磊 -专利权人：北京实力源科技开发有限责任公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种长寿命旋转阴极磁控溅射靶材，其特征在于，包括圆柱靶材、嵌入环状靶材和靶材堵头，所述圆柱靶材为直段靶材，所述嵌入环状靶材嵌套在所述圆柱靶材外部，所述嵌入环状靶材位于所述圆柱靶材两端的端部使所述圆柱靶材两端端部靶材的消耗速率降低，使所述圆柱靶材端部和中间部位被刻蚀之差减小，从而提高靶材利用率，大幅度降低生产产品的成本，节约生产资源，提高产品竞争力；同时采用嵌入环状靶材的内凹槽结构与所述靶材堵头的外凸定位块紧密配合，解决所述圆柱靶材衔接处的散热问题，综合提升旋转阴极磁控溅射靶材的寿命。
一种寿命旋转阴极磁控溅射

[实用新型]一种具有便于装卸结构的靶材-CN201921720680.9有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李小萍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有便于装卸结构的靶材，以溅射面为上表面，所述具有便于装卸结构的靶材包括从上到下依次设置的第一圆柱靶材、圆台靶材以及第二圆柱靶材；所述圆台靶材的顶面与第一圆柱靶材的底面连接，圆台靶材的底面与第二圆柱靶材的顶面连接本实用新型通过成熟的现有技术将靶材设置为从上到下的圆柱、圆台以及圆柱结构，避免了磁控溅射过程中，靶材溅射面原子沉积过多造成的密封环无法取出的问题，保证了磁控溅射生产线的顺利运行。
一种具有便于装卸结构

[发明专利]可旋转的溅射靶材-CN201180075292.X在审
发明人： H·盖特纳;T·贝格尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种用以提供待沉积的材料于基板上的靶材配置。靶材配置包括由待沉积的材料所制成的靶材部分(210)。靶材部分可以实质上具有中空圆柱的形状，中空圆柱具有内部(260)及外部(250)直径，其中中空圆柱包括一圆柱面(211)及两个端面(212)。靶材配置可以更包括连接配置，连接配置包括凹处(230)，凹处(230)位于靶材部分的至少一端面。再者，一种包括靶材配置的沉积设备及一种用以安装靶材配置于沉积腔室的方法也被描述。
旋转溅射

[发明专利]可旋转溅射靶材支撑圆柱、可旋转溅射靶材、制造可旋转溅射靶材的方法以及涂覆设备-CN200980142266.7无效
发明人：迈克尔·舍弗尔;罗兰·特拉斯里;刘健 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2009-10-23 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：一种溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括：可旋转靶材基座(4)，用于托持固体靶材圆柱(5)，该固体靶材圆柱具有内轴向面(54)、外轴向面(55)以及至少一个前面(56)，该前面连接该内轴向面与该外轴向面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件(23；230)、第一面(3)以及第二面(250；81)，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。
旋转溅射支撑圆柱制造方法以及设备

[发明专利]可旋转溅射靶材座、可旋转溅射靶材、涂覆设备、制造可旋转溅射靶材的方法、靶材座连接装置、以及将用于溅射设备的可旋转溅射靶材座装置连接至靶材座支撑件的方法-CN200980152602.6无效
发明人：洛塔尔·利帕特;奥利弗·海默尔 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2009-10-23 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：本发明提供一种用于溅射设备的可旋转靶材座装置，其中该靶材座装置适于在该靶材座装置上接收实体靶材圆柱，该可旋转靶材座装置包含：靶材座圆柱(4)，该靶材座圆柱(4)具有侧面(3)、中间部(12)、第一末端区
旋转溅射靶材座设备制造方法连接装置以及用于至靶材座支撑

[实用新型]磁控溅射圆柱靶-CN201120507817.X有效
发明人：蔡新明;柯伟;吴旭林;张化明;韩文敏 -专利权人：山东力诺新材料有限公司
申请日： 2011-12-08 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射圆柱靶，包括两端带有装配部的圆柱靶体，在所述圆柱靶体的两端装配部的内侧各套装有一个与靶材材质一样的靶帽。依据本实用新型的磁控溅射圆柱靶能够提高靶材整体利用率。
磁控溅射圆柱

[发明专利]一种提高靶材使用率的磁控溅射圆形平面靶枪的磁靶-CN201910452612.7有效
发明人：付学成 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高靶材使用率的磁控溅射圆形平面靶枪的磁靶，所述磁靶包括靶材和磁铁；所述磁铁包括圆柱形磁铁和梅花形环状磁铁；所述圆柱形磁铁位于梅花形环状磁铁的中心；所述圆柱形磁铁与梅花形环状磁铁同圆心且磁铁高度相同相比传统的圆形平面磁控靶枪的磁靶，本发明可以在磁控溅射过程中，增加靶材刻蚀槽的宽度，从而提高靶材的使用率。
一种提高使用率磁控溅射圆形平面

[实用新型]一种靶材夹持工装-CN202221315137.2有效
发明人：高照辉;朱骏;齐雷;杨晓菡;刘勇 -专利权人：宁夏德运创润钛业有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B23B25/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种靶材夹持工装，包括：筒壁结构件(100)、固定顶轴(200)和活动顶块(300)，其中，筒壁结构件(100)形成一个闭合的圆柱形筒，容纳多个圆柱形靶材；在靶材放入圆柱形筒且圆柱形筒放置在车床时，固定顶轴(200)设置于圆柱形筒的第一端，通过固定顶轴(200)固定靶材，活动顶块(300)设置于圆柱形筒的第二端，通过活动顶块(300)顶紧靶材和固定顶轴(200)，固定顶轴(200)和活动顶块(300
一种夹持工装

[实用新型]适用于磁控溅射镀膜的旋转圆柱形靶-CN202223112840.6有效
发明人：张家震;王健;卞恒卿;金虎范 -专利权人：青岛融合智能科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于磁控溅射镀膜的旋转圆柱形靶，属于旋转圆柱形靶技术领域。其技术方案为：包括靶管，靶管表面涂覆有靶材，靶材由第一靶材和第二靶材拼接而成，第一靶材和第二靶材的分界线沿靶管轴向延伸。本实用新型实现了两种靶材的混合，可在玻璃基底上镀上掺杂金属的复合介质膜，且扩大了可镀膜基底材料的种类，不仅可镀制管状、条状等可旋转的材料，还可镀制大面积平板材料。
适用于磁控溅射镀膜旋转圆柱形

[实用新型]多弧离子镀膜机的电弧靶结构-CN201220127214.1有效
发明人：赵铭 -专利权人：广东友通工业有限公司
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及离子镀膜设备技术领域，尤其是涉及多弧离子镀膜机的电弧靶结构，包括有靶材、引弧针，靶材为圆柱靶，靶材外周组设有可调屏蔽罩，可调屏蔽罩上设有外螺纹，所述引弧针安装在一活动轴上，引弧针的针尖设置在靶材的前端方向；靶材通过可调屏蔽罩上的外螺纹组装到一固定的外屏蔽罩之中部，且在靶材的后端接触一内部设有冷却水的水套座。本实用新型通过螺纹旋进旋出即可实现靶材的位置调整，提升靶材的利用率，且靶材为圆柱靶，通用性强，可做成多种金属靶，满足各种生产需要；设有水冷却，达到降温功效，有效防止高温烧坏的现象，提升靶材的使用寿命。
离子镀膜电弧结构

[发明专利]圆柱形靶材增大溅射面积加工方法-CN201910294904.2在审
发明人：张益 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及靶材加工方法领域，特别是涉及一种圆柱形靶材增大溅射面积加工方法包括以下步骤，提供靶材，所述靶材一端设置有待加工面，固定靶材，将靶材固定在机床一侧，根据提供的刻度，调整机床上的刻度盘，推动刻度盘上的小拖板，使小拖板上的设置有车刀的刀架往靶材的待加工面方向移动，车刀开始对待加工面车锥面。本发明提供一种满足不同用户使用要求、有效增大溅射面积及加工便捷的圆柱形靶材增大溅射面积加工方法。
靶材溅射圆柱形靶材车刀加工面刻度盘小拖板加工机床锥面靶材加工待加工面方向移动一端设置用户使用刀架固定靶

[发明专利]一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶-CN200310105218.5无效
发明人：宫骏;肖金泉;孙超;华伟刚;刘山川;王启民;王铁钢;裴志亮;闻立时 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2003-11-28 - 公布日： 2005-06-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种可提高靶材利用率的磁控溅射靶。由水冷靶材和可移动的磁体组成平面靶或圆柱靶结构；平面靶结构中磁体通过滚动轴承与水冷背板安装在一起，电机通过传动盘驱动金属板和固定其上的磁体一起运动；圆柱靶结构中磁体套在不锈钢管上安装在圆柱靶内，置于冷却水中本发明采用了移动磁体技术，通过对普通磁控溅射平面靶和圆柱靶磁体的改进，使其磁体在溅射镀膜过程中能够移动，从而使靶材表面的刻蚀区域更宽，刻蚀更均匀，靶材的利用率有明显的提高，同时保留了磁控溅射工艺的优点，而没有影响其工艺性能；本发明还具有结构简单，性能可靠，易操作等特点，可显著提高靶材的利用率，具有广泛的应用领域。
一种提高利用率磁控溅射

[发明专利]一种靶材孔位的安装检具及检测方法-CN202210144585.9在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材孔位的安装检具及检测方法，所述安装检具包括检具主体和检具插销，两者独立设置；所述检具主体呈圆环形结构，其中间位置设有通孔，所述检具主体上设有多个圆柱形凸起，其数量与靶材标准孔的数量相同，圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中；所述检具插销呈圆柱状结构，其两端均设有插销头，一端插销头的直径大于靶材孔的直径，另一端则小于靶材孔的直径。本发明根据待检测靶材中孔位的结构及分布，设计相应的安装检具，检具主体上的圆柱形凸起便于检测靶材上孔的位置是否合适，检具插销则检测靶材上孔的直径是否合适，检测速率快，精确度高，使之安装时的匹配性较好；所述安装检具结构简单
一种靶材孔位安装检测方法

[实用新型]一种靶材孔位检具-CN202222033794.4有效
发明人：姚力军;潘杰;陈文庆;王学泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具包括扇形基底；沿远离扇形基底圆心的方向依次划分第一圆弧段、第二圆弧段与第三圆弧段；第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段与扇形基底同圆心；所述第一圆弧段设置有至少1个排气通孔；所述第二圆弧段设置有至少1个圆柱形凸起；所述第三圆弧段设置有至少1个凸台定位件；所述凸台定位件包括同轴心的圆柱基底与圆柱定位凸起；所述圆柱形凸起的直径与其对应的靶材孔位的直径；所述圆柱定位凸起的直径与其对应的靶材孔位的直径；所述圆柱基底的直径≤与其对应的靶材孔位的直径。所述靶材能够对靶材的孔位尺寸进行检测，且检测过程简单便捷，检测误差较小。
一种靶材孔位检具

[实用新型]磁控溅射圆柱靶的靶芯结构-CN201420236523.1有效
发明人：万光辉;梁君;平杰 -专利权人：山东亿家能太阳能有限公司
申请日： 2014-05-09 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射圆柱靶的靶芯结构，它是真空镀膜技术中磁控溅射镀圆柱靶的核心部分，它在靶管内部，在芯铁上面安装有多条长条形强磁钢，两个端部装有两条弱磁钢，芯铁外面有封闭的不锈钢罩隔水装置，防止磁钢浸在水里，这样可以延长磁钢的使用寿命，节约磁钢，解决了磁控溅射圆柱靶的靶材两端溅射后出现凹槽的缺陷，使靶材的利用率提高一倍。它解决了磁控溅射圆柱靶使用中磁钢使用寿命短，靶材利用率低的两个技术难题。
磁控溅射圆柱结构

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