专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]图案材料和图案薄膜-CN202010761964.3在审
  • 张宇;曾志雄;周慧慧 - 华为技术有限公司
  • 2020-07-31 - 2022-02-18 - G03F7/075
  • 本申请提供一种图案材料,包括聚硅氧烷,所述聚硅氧烷包括至少一个由Si‑O键重复构成的环状结构和连接在所述环状结构中的Si原子上的有机基团;其中,至少一个所述环状结构中的部分Si原子被金属元素取代,和/本申请图案材料在1nm~15nm X射线照射下,具有高敏感性、高图案分辨率,可实现高质量、高效率图案化工艺。将本申请图案材料用于芯片等电子元器件的制备,可提高电子元器件精度和制备效率。本申请还提供了采用该图案材料形成的图案薄膜
  • 图案材料薄膜
  • [发明专利]薄膜涂膜的方法-CN200710188792.X无效
  • 吕志平;李裕正;林国栋 - 财团法人工业技术研究院
  • 2007-11-20 - 2008-05-28 - H01L21/00
  • 本发明是关于一种形成连续薄膜层的薄膜涂膜的方法,所述的方法包含:提供一具有一表面的基板;于所述的表面上形成一第一图案薄膜层,所述的第一图案薄膜层包括复数个彼此隔开的第一薄膜单元;且于所述的第一图案薄膜层之上形成一第二图案薄膜层,所述的第二图案薄膜层沿第一图案薄膜层延伸且包括复数个彼此隔开的第二薄膜单元,所述的复数个第二薄膜单元的每一者连接第一图案薄膜层的至少两个紧邻的第一薄膜单元。使用本发明的方法能够于与薄膜具有相对低亲和力的表面层上形成连续薄膜
  • 薄膜方法
  • [发明专利]触控感应层及触控显示装置的形成方法-CN201410323444.9有效
  • 简廷宪;钟德镇;戴文君;潘新叶 - 昆山龙腾光电有限公司
  • 2014-07-08 - 2014-10-22 - G06F3/041
  • 本发明提出一种触控感应层的形成方法,用于形成图案的氧化铟锡薄膜及导电薄膜,其包括在玻璃基板上形成图案的第一光阻层;在图案的第一光阻层上镀上导电薄膜;利用第一道剥离工序形成图案的导电薄膜;在图案的导电薄膜上覆盖第二光阻层,且形成图案的第二光阻层;在图案的第二光阻层上镀上氧化铟锡薄膜;及利用第二道剥离工序形成与图案的导电薄膜对位的氧化铟锡薄膜。本发明的触控感应层的形成方法首先图案光阻层,再利用剥离工序分别形成导电薄膜及氧化铟锡薄膜,形成的导电薄膜及氧化铟锡薄膜对位精准、制成简单,从而使得形成的触控感应层精准度高。
  • 感应显示装置形成方法
  • [发明专利]薄膜倒装封装结构-CN202310593612.5在审
  • 郭德献 - 联咏科技股份有限公司
  • 2019-10-11 - 2023-08-15 - H01L23/544
  • 本发明公开一种薄膜倒装封装结构,其包括可挠薄膜图案金属层、芯片、图案阻焊层以及含代码图案。可挠薄膜包括芯片配置区及围绕芯片配置区的外围区。图案金属层位于可挠薄膜上。芯片配置于芯片配置区上且电连接至图案金属层。图案阻焊层暴露芯片配置区且覆盖部分的图案金属层。含代码图案位于可挠薄膜的外围区上,其中含代码图案包括多个机器可读数据。
  • 薄膜倒装封装结构
  • [发明专利]驱动电路及显示装置-CN202010327925.2有效
  • 高雅楠;彭邦银;金一坤 - 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
  • 2020-04-23 - 2021-09-03 - G09G3/20
  • 本申请提供一种驱动电路及显示装置,驱动电路包括:电路单元,电路单元包括一个薄膜晶体管,薄膜晶体管包括图案构件;一电容器,电容器与电路单元中的薄膜晶体管的至少一端连接,电容器包括一个电极板;以及冗余图案构件,冗余图案构件、电极板以及图案构件位于同一导电层,冗余图案构件连接于图案构件和电极板之间。通过在组成薄膜晶体管的图案构件和电容器的电极板之间设置冗余图案构件,以避免图案导电层过程中薄膜晶体管的图案构件出现蚀刻不均导致电路单元的薄膜晶体管的电性受影响的问题。
  • 驱动电路显示装置
  • [发明专利]一种图案薄膜的高温退火方法-CN201810110906.7有效
  • 闫兴振;王冠达;周路;杨帆;迟耀丹;高晓红;边虹宇;史恺;李旭;杨小天 - 吉林建筑大学
  • 2018-02-05 - 2020-12-11 - H01L21/477
  • 为克服现有技术中图案薄膜高温退火后出现破裂的问题,提供一种图案薄膜的高温退火方法,包括以下步骤:S1、在基底上形成液态的图案薄膜液,所述图案薄膜液中包括成膜材料和溶剂;S2、将图案薄膜液在预退火温度下进行预退火处理,得到薄膜前体;所述预退火温度比所述溶剂的沸点低4‑5℃;S3、将薄膜前体在过渡退火温度下进行过渡退火处理,得到薄膜过渡体;所述过渡退火温度比目标退火温度低100‑150℃;S4、将薄膜过渡体在目标退火温度下进行退火处理,然后冷却,得到薄膜。经过本发明提供的高温退火方法制备得到的薄膜不会破裂,品质高,为提高图案薄膜的性能提供很好的支撑条件。
  • 一种图案薄膜高温退火方法
  • [发明专利]图案有机薄膜的制备方法-CN201510061759.5有效
  • 杨小牛;叶峰;赵晓礼;张通;吴凡;吕红英 - 中国科学院长春应用化学研究所
  • 2015-02-06 - 2017-04-05 - H01L51/56
  • 本发明公开了一种图案有机薄膜的制备方法,属于有机薄膜图案技术领域。解决了现有技术中有机薄膜图案的方法对待加工层进行激光刻蚀时,容易对与待加工层相邻的非加工层造成热损伤的技术问题。该方法首先在基底的上表面上制备图案衬底薄膜层,然后在图案衬底薄膜层和裸露的基底的上表面上制备单层或复合有机薄膜层,之后通过红外激光源逐点扫描单层或复合有机薄膜层,利用有机薄膜材料和衬底薄膜材料对红外光的吸收率的不同,使图案衬底薄膜层吸收热量,将其上的单层或复合有机薄膜层的烧掉,裸露的基底的上表面上的单层或复合有机薄膜层被保留,得到图案有机薄膜
  • 图案有机薄膜制备方法
  • [发明专利]低温多晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法-CN200610080408.X无效
  • 陈麒麟;黄志仁 - 财团法人工业技术研究院
  • 2006-05-09 - 2007-11-14 - H01L21/336
  • 一种制造低温多晶硅薄膜晶体管的方法,其包含提供一个基体;于基体上形成一个图案第一导体层;于图案第一导体层上形成一层第一绝缘层;于第一绝缘层上形成一层多晶硅薄膜层;于多晶硅薄膜层上形成一层第二绝缘层;将多晶硅薄膜层与第二绝缘层予以图案以形成一个图案多晶硅薄膜层与一个位于图案多晶硅薄膜层上的图案第二绝缘层;于图案第二绝缘层上形成一层掺杂的多晶硅薄膜层;于掺杂的多晶硅薄膜层上形成一个图案第二导体层,该图案第二导体层曝露出位于图案第二绝缘层上方的掺杂的多晶硅薄膜层的局部;以及将曝露出的掺杂的多晶硅薄膜层的局部予以移除使曝露出图案第二绝缘层的局部。
  • 低温多晶薄膜晶体管结构及其制造方法

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