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- [发明专利]对基板作业系统-CN201980098590.7在审
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稻垣光孝;川合英俊
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株式会社富士
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2019-07-26
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2022-03-01
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H05K13/08
- 对基板作业系统具备:移动装置,在XY平面上移动;照明装置,安装于移动装置;单色相机,安装于移动装置;及图像处理装置。图像处理装置基于对象物,从至少两种单色光中选择一种或者多种单色光,若所选择出的单色光为一种,则以取得由一种单色光照射的对象物的单色图像的方式控制照明装置及单色相机,并且将对象物的单色图像设定为对象物检查用图像另一方面,若所选择出的单色光为多种,则以取得独立地照射多种单色光的对象物的各单色图像的方式控制照明装置及单色相机,并且将合成各单色图像而得到的合成图像设定为对象物检查用图像。
- 作业系统
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