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[实用新型]一种单晶炉用晶棒下料组件-CN202121917748.X有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶棒加工技术领域，公开了一种单晶炉用晶棒下料组件，包括固定在旋转抱夹小车的转盘上的基座，基座的上侧设置有呈“凵”字形的第一夹持臂，基座的下侧设置有呈“凵”字形的第二夹持臂，第一夹持臂和第二夹持臂的两端均设置有卡爪利用第一驱动件带动第一夹持臂和第二夹持臂朝向相互靠近的一侧移动，随后第一夹持臂和第二夹持臂端部的卡爪即可夹紧在晶棒上，通过第一夹持臂和第二夹持臂即可实现对晶棒的稳定夹持，同时转盘通过旋转抱夹小车下降后，即可取下从单晶炉上下落中的晶棒；最终实现对单晶炉内下落的晶棒进行稳定的夹持，从而有利于晶棒的稳定下料。
一种单晶炉用晶棒下料组件

[实用新型]单晶硅棒自动取棒运输设备-CN201620143695.3有效
发明人：任勇;侯景成 -专利权人：广州柏创机电设备有限公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅棒自动取棒运输设备，包括:晶棒架（1）、晶棒架驱动单元（2）、晶棒夹（3）、晶棒夹导轨（4）、旋转液压马达（5）、转盘（6）、机架（7）、控制台（8）、左右旋丝杆驱动液压马达（9）、左右旋丝杆（10）、升降台（11）、升降液压缸（12）、晶棒托盘（13）。本实用新型配合液压系统与机电控制系统，在单晶硅棒生产出炉后，晶棒从炉底部的炉口向下伸出，较长的晶棒会向下延伸到设备安装面以下空间，晶棒托盘可以下降到设备安装面以下接住晶棒。晶棒下料后，晶棒夹在晶棒腰部夹持晶棒，使晶棒固定在单晶硅棒自动取棒运输设备上。晶棒托盘提升晶棒，高度超过设备安装面，单晶硅棒自动取棒运输设备离开晶棒生产炉，转盘转动，把竖直的晶棒转到水平位置，将单晶硅棒运输到下一道工序。通过本实用新型降低劳动强度，提高工作效率和较低的运行成本。
单晶硅自动运输设备

[发明专利]单晶硅晶棒的取棒装置-CN201110455272.7无效
发明人：汤仁兴 -专利权人：汤仁兴
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅晶棒的取棒装置，属于单晶硅的生产制造设备技术领域，其特征在于：它包括机架（1）和升降杆（3），所述机架（1）上固定有上下两块夹持板（2），所述升降杆（3）穿过两块夹持板（2）上的通孔这种单晶硅晶棒的取棒装置将机架放置于单晶炉旁的地面上后，用钳子夹住单晶硅晶棒的上部，松开两块夹持板，并用油缸推动升降杆上升，从而取出单晶硅晶棒。能方便地将单晶硅晶棒取出，并且可以保证操作人员的完全，同时取出晶棒时不会抖动，使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉，从而保证了单晶硅晶棒的质量。
单晶硅装置

[发明专利]一种单晶炉及单晶炉的拉晶温度控制方法-CN202210952519.4在审
发明人：朱永刚;李侨;董升;曹杰;张伟建;白锋 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种单晶炉及单晶炉的拉晶温度控制方法，所述单晶炉包括炉体和传热组件，炉体用于单晶硅棒的生长；沿所述炉体的轴线方向，所述传热组件设置在所述炉体内，所述传热组件包括传热件；所述传热件用于与所述单晶硅棒接触，并传导所述单晶硅棒的热量。本实施例的单晶炉可快速降低单晶硅棒温度，使得拉晶速度可以进一步提高，并且单晶硅棒四周不会产生碰撞风险，因此，这种单晶炉能够兼具较高拉晶速度和较高拉晶质量。
一种单晶炉温度控制方法

[实用新型]一种单晶炉拉晶辅助工装和单晶炉-CN202221527052.0有效
发明人：杨吉祥;金林飞;杨树荣;涂准;字永超;匡志宗;吴文华 -专利权人：保山隆基硅材料有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种单晶炉拉晶辅助工装和单晶炉，涉及单晶炉技术领域，用于在生长晶棒时夹持晶棒，减轻籽晶和细晶的载荷，规避籽晶或细晶断裂，导致晶棒掉落损坏单晶炉的风险。单晶炉拉晶辅助工装，包括防掉挂件和夹持组件，防掉挂件用于布置于单晶炉内的钨丝绳挂件上方，能够被钨丝绳挂件的上部承托顶起并沿拉晶轴线提升移动。夹持组件的一端转动连接于防掉挂件。夹持组件具有释放状态和夹持状态，在夹持组件接触单晶炉的卡盘时，夹持组件处于释放状态。在钨丝绳挂件的上部顶起防掉挂件，使夹持组件与卡盘脱离接触时，夹持组件处于夹持状态，用于夹持晶棒。单晶炉包括炉体、钨丝绳挂件和上述的工装。
一种单晶炉拉晶辅助工装单晶炉

[发明专利]一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉-CN202111146606.2在审
发明人：徐鹏;张婉婉 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉，所述拉晶炉包括限定出热处理室的加热器，所述加热器在所述拉晶炉中设置成使得，所述单晶硅棒能够通过沿着拉晶方向移动而进入到所述热处理室中。通过使用本发明实施例的拉晶炉，在单晶硅棒被拉制出之后就继续在拉晶炉中对单晶硅棒进行热处理，由于热处理室就设置在拉晶炉内，不需要对硅棒进行转移运送，而且可以在拉晶炉内对整根单晶硅棒进行热处理，因此大大提高了热处理的效率，另外，由于是对单晶硅棒而非晶片进行热处理，因此避免了晶片热处理过程中的交叉污染以及由于晶片与晶舟接触可能造成的晶格滑移位错问题。
一种用于拉制单晶硅拉晶炉

[发明专利]用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉-CN202211268657.7在审
发明人：杨文武;张雯 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开涉及用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉，该用于单晶炉的防晶棒掉落装置包括设置在单晶炉的副炉室处的感测装置、抱接装置和止挡件，其中，感测装置用于感测晶棒是否发生掉落；抱接装置包括单独的抱接件，抱接装置用于根据感测装置感测到晶棒发生掉落而使抱接件抱接并固定至晶棒的外表面；以及止挡件设置在抱接装置的下方，并且止挡件构造成能够止挡随掉落的晶棒下落的抱接件，以由此止挡晶棒。
用于单晶炉防晶棒掉落装置

[实用新型]晶棒辅助提升装置和单晶炉-CN202320864395.4有效
发明人：杨政;侯志文;丁天璞 -专利权人：双良硅材料（包头）有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶棒辅助提升装置，用于单晶炉，包括导向组件和夹具；导向组件安装于单晶炉的副室；夹具用于在晶棒吊入副室时夹紧该晶棒；夹具安装于导向组件，并且夹具能够沿竖直方向移动。上述晶棒辅助提升装置中，其夹具能在晶棒被吊入单晶炉的副室时夹紧该晶棒，防止晶棒受提拉装置的振动影响发生细颈处断裂时直接下落，保证晶棒受夹具夹持而保持在副室内，避免发生掉棒事故。本实用新型还公开一种应用上述晶棒辅助提升装置的单晶炉，避免发生掉棒事故，利于保证安全生产。
辅助提升装置单晶炉

[发明专利]一种单晶炉的加料方法-CN201310200286.3无效
发明人：方中期;汪国锋 -专利权人：开化县同欣硅业有限公司
申请日： 2013-05-27 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶炉的加料方法，该方法包括下列步骤：A、在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料，再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒；B、当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余10～20%时，停止第一根拉晶；C、在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，待其完全熔化；D、再次缓缓加入单晶炉总加料量的30～40%，再待其完全熔化；E、又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量，待该余量完全熔化；F、重新开始第二根晶棒的拉晶，直到单晶炉中硅料完全拉完为止。采用本发明，由于每炉可拉二根晶棒，不仅节省能耗，而且提高了坩埚等材料的利用率。
一种单晶炉加料方法

[实用新型]一种单晶炉拉晶防掉棒装置-CN202121444691.6有效
发明人：张燕辉 -专利权人：内蒙古华耀光电科技有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉拉晶防掉棒装置，包括连接构件，用于与单晶炉的上轴重锤相连接；夹持机构，与所述连接构件相铰接，用于在晶棒的凹环处对晶棒进行夹持。在使用本实用新型的单晶炉拉晶防掉棒装置时，将防掉棒装置的连接构件固定连接在单晶炉的上轴重锤处，晶棒拉制过程的缩颈工艺中在晶棒靠上的部位会形成凹环状的颈部，防掉棒装置的夹持机构在该凹环处对晶棒进行夹持，如果发生籽晶断裂，由于夹持机构对晶棒的辅助夹持作用，可以防止晶棒因籽晶断裂发生掉落，进而可以避免晶棒对热系统及炉体造成破坏、引发安全事故。
一种单晶炉拉晶防掉棒装置

[实用新型]一种单晶炉-CN202222107237.2有效
发明人：朱永刚;李侨;董升;曹杰;张伟建;白锋 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种单晶炉，所述单晶炉包括炉体和传热组件，炉体用于单晶硅棒的生长；沿所述炉体的轴线方向，所述传热组件设置在所述炉体内，所述传热组件包括传热件；所述传热件用于与所述单晶硅棒接触，并传导所述单晶硅棒的热量本实施例的单晶炉可快速降低单晶硅棒温度，使得拉晶速度可以进一步提高，并且单晶硅棒四周不会产生碰撞风险，因此，这种单晶炉能够兼具较高拉晶速度和较高拉晶质量。
一种单晶炉

[发明专利]单晶炉晶棒定位装置及采用单晶炉晶棒定位装置的单晶炉-CN201110384896.4有效
发明人：吴学军;周凯平 -专利权人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司
申请日： 2011-11-28 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：单晶炉晶棒定位装置及采用单晶炉晶棒定位装置的单晶炉。一种单晶炉晶棒定位装置，包括连接部、圆柱体收容部、伸缩部、纵向引导件及固定件。伸缩部设置在圆柱体收容部内且伸缩部的一端伸出圆柱体收容部，且伸缩部的伸出圆柱体收容部的一端设置有用于定位晶棒的定位摇臂，定位摇臂与圆柱体收容部的轴线垂直；伸缩部的被收容在圆柱体收容部内的另一端设置用固定孔本发明还提供一种采用单晶炉晶棒定位装置的单晶炉。
单晶炉晶棒定位装置采用单晶炉

[发明专利]一种生产单晶硅的停炉方法及单晶炉-CN202310484648.X有效
发明人：陈伟;崔永慧;李林东;吴超慧;张鹏;陈志军;许堃;李安君;邢立勋;毛亮亮;丁云飞 -专利权人：苏州晨晖智能设备有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明属于单晶硅生产技术领域，具体涉及一种生产单晶硅的停炉方法及单晶炉，方法包括：在硅熔液的液面温度高于950℃~1050℃时，采用CCD相机监测液面温度；在液面温度不高于950℃~1050℃时，采用广角红外测温单元监测硅晶棒表面和单晶炉内加热器发热区的温度，向单晶炉内通氩气进行冷却；冷却的条件包括：硅晶棒和坩埚分别转动；在硅晶棒表面的温度降至950℃~1050℃时，使硅晶棒进行第一提升和第二提升，使坩埚下移；在硅晶棒表面的温度降至880℃‑920℃时，使热屏上移，使坩埚下移；在硅晶棒表面的温度降至440℃~460℃时，取出硅晶棒；在加热器发热区温度降至310℃‑330℃时，拆炉和/或装炉。本发明的方法能提高生产效率，避免事故，提高晶棒质量，避免热场部件老化。
一种生产单晶硅方法单晶炉

[发明专利]用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置-CN201310161902.9无效
发明人：高阳;李益群;杨志江;郭丽娟 -专利权人：江苏海翔化工有限公司
申请日： 2013-05-03 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，包括基座和用于装夹硅棒的抓杆组，基座可以将硅棒取出装置固定在单晶炉副室窗口，抓杆可以抓持住硅棒，保持硅棒在移动过程中的稳定性。本发明提供的一种硅棒取出装置不仅有效的解决了单晶硅棒在旋转提升过程中摆动较大，单晶硅棒旋转同心度很不稳定的问题，而且解决了由于增大投料量后造成的晶棒过长，单晶炉副室高度不够，晶棒无法正常取出的问题，从而实现了增大单炉投料量，提高单晶炉设备产量和生产效率，节约拉晶时间，减少单位产量内的石英坩埚用量和单晶炉热场石墨件的损耗，大幅度降低成本的目的。
用于增加单晶炉投料便携式取出装置

[实用新型]一种夹持装置和单晶炉-CN202221917088.X有效
发明人：朱永刚;董升;白锋;曹杰;张伟建;李侨 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种夹持装置和单晶炉，涉及直拉单晶生长技术领域，以解决现有技术中在取晶时晶棒易与副室相撞，致使晶棒掉落进而导致晶棒和单晶炉损坏的问题。所述夹持装置应用于单晶炉，该夹持装置包括：基架、支架、驱动件和夹持组件。两个支架设置于基架，至少一个支架与基架移动连接。驱动件与至少一个支架驱动连接，用于使两个支架沿相互靠近和远离的方向移动。每个支架上均设置一个夹持组件，两个夹持组件用于相互靠近以夹持晶棒以及相互远离以释放晶棒。本实用新型还提供了一种单晶炉。该单晶炉包括副室和如上述技术方案所述的夹持装置。夹持装置设置于副室的侧壁，夹持组件沿副室的径向伸入副室内，用于夹持固定晶棒。
一种夹持装置单晶炉

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