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- [发明专利]晶圆检测方法-CN202010147998.3在审
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熊俊剑
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中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
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2020-03-05
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2020-06-05
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G01N23/2251
- 本发明提供了一种晶圆检测方法,包括:扫描机台以虚拟单元为单位扫描晶圆,生成粗晶圆图;一个曝光单元由大于1的整数个虚拟单元构成,一个虚拟单元包括多个芯片;在粗晶圆图中剔除含测试芯片的虚拟单元,生成标准晶圆图;扫描机台根据标准晶圆图对主芯片单元缺陷扫描,SEM机台根据缺陷扫描生成文件在晶圆上寻找有缺陷的主芯片单元并检测。相比以单个芯片为单位逐个芯片扫描降低了扫描的虚拟芯片个数使SEM机台有能力计算出相对应的晶圆图进行点对点自动检测。相比以曝光单元为单位扫描晶圆,以虚拟单元为单位扫描减小了扫描单位的轮廓大小,晶圆边缘能够被更多的虚拟单元覆盖到,以使扫描机台能扫描到;因缩小了扫描单位范围使扫描精度提高。
- 检测方法
- [发明专利]图像形成装置及其控制方法-CN200910001914.9有效
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池田笃;大矢浩史;白井利明
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佳能株式会社
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2009-01-07
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2009-07-15
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G03G15/00
- 该图像形成装置能够数字校正激光束的弯曲和倾斜,其包括:第一数字校正单元,其以第一主扫描方向上的像素单位校正所述扫描线在所述副扫描方向上的所述位置偏移;第二数字校正单元,其以第二主扫描方向上的像素单位校正所述扫描线在所述副扫描方向上的所述位置偏移,其中所述第二主扫描方向上的所述像素单位小于所述第一主扫描方向上的所述像素单位;以及控制单元,其进行控制,使得在用于正常打印的图像形成时所述第一数字校正单元操作,并且使得在用于测量并校正颜色偏移的配准校正用的图案图像形成时所述第二数字校正单元操作为此,所提供的是校正扫描线在副扫描方向上的位置偏移的图像形成装置。
- 图像形成装置及其控制方法
- [发明专利]摄像装置芯片组及图像拾取系统-CN03158510.8有效
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春日繁孝;松长诚之;猪熊一行
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松下电器产业株式会社
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2003-09-17
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2004-04-21
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H04N5/335
- 摄像装置芯片组包括:摄像芯片,对入射光进行光电转换来获得电信号;及DSP芯片,对通过摄像芯片获得的电信号进行数字信号处理;摄像芯片包括:多个单位像素,对入射光进行光电转换来生成电信号;水平扫描电路,沿水平方向选择单位像素;及垂直扫描电路,沿垂直方向选择单位像素;DSP芯片包括:时序产生电路,生成水平扫描电路和垂直扫描电路工作所需要的时序脉冲;及数字信号处理电路,对通过多个单位像素生成的电信号进行数字信号处理;DSP芯片中包含的时序产生电路和数字信号处理电路由CMOS晶体管构成;摄像芯片中包含的多个单位像素和水平扫描电路及垂直扫描电路由同一导电型的晶体管构成。
- 摄像装置芯片组图像拾取系统
- [发明专利]图像形成方法以及图像形成装置-CN202111108891.9在审
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中川雅晴;稻田一树;西田昌弘
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株式会社斯库林集团
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2021-09-22
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2022-03-29
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B41J2/01
- 本发明提供一种在利用多遍印刷形成图像的情况下,抑制在单位区域间的接缝形成条纹状的不均的技术。控制部(12)通过主扫描(SC3),对布线基板(9)的表面(9a)中的第一单位区域(91)以及相对于第一单位区域(91)在+X侧相邻的第一接缝区域(901)赋予油墨。当完成主扫描(SC3)时,控制部(12)使头部(40)向+X侧移动,并且通过主扫描(SC4)对第一接缝区域(901)以及相对于第一接缝区域(901)在+X侧相邻的第二单位区域(92)赋予油墨。当完成主扫描(SC4)时,控制部(12)使头部(40)向-X侧移动,并且通过主扫描(SC5)对第一单位区域(91)和第一接缝区域(901)赋予油墨。
- 图像形成方法以及装置
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