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[实用新型]真空溅镀设备的倾斜式基材载送装置-CN200820007895.1无效
发明人：黄泳钊;郑博仁 -专利权人：北儒精密股份有限公司
申请日： 2008-04-09 - 公布日： 2008-12-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种真空溅镀设备的倾斜式基材载送装置，设置于该真空溅镀设备的一反应腔体中，并能使一板状的基材载架正面朝上地倾斜移置于该反应腔体内。该倾斜式基材载送装置包括一支撑设置于该基材载架的一底部的下滚送单元，以及一支撑设置于该基材载架的一背面顶侧处的上滚送单元。本实用新型所述的真空溅镀设备的倾斜式基材载送装置，能让该基材载架的装载于整体上产生极佳的便利性。
真空设备倾斜基材装置

[发明专利]微晶硅薄膜太阳能电池的真空热退火处理背电极技术-CN201110287896.2无效
发明人：陈宏昌;刘幼海;刘吉人 -专利权人：吉富新能源科技(上海)有限公司
申请日： 2011-09-26 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明关于一种微晶硅薄膜太阳能电池的真空热退火处理背电极技术，此技术包括玻璃、真空溅镀沉积第一透明导电层薄膜、真空溅镀沉积第一金属层薄膜、真空溅镀沉积第二金属层薄膜、真空热退火处理、与真空溅镀沉积第二透明导电层薄膜先在玻璃上依序真空溅镀沉积第一透明导电层薄膜、真空溅镀沉积第一金属层薄膜、真空溅镀沉积第二金属层薄膜、以真空热退火处理第二金属层薄膜表面平整化后、最后真空溅镀沉积第二透明导电层薄膜。
微晶硅薄膜太阳能电池真空退火处理电极技术

[实用新型]一种溅镀治具-CN201720048051.0有效
发明人：霍凯;陈宥廷 -专利权人：苏州凡特真空溅镀科技有限公司
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种溅镀治具，包括溅镀本体，溅镀本体包括上盖和底板，底板上设有定位装置，上盖上设有与定位装置位置对应的定位套，上盖上设有用于溅镀的溅镀通孔，定位装置包括位于边侧的定位轴和和位于底板剩余位置周边的定位框本实用新型的优点是定位轴与定位框的设置，即可方便定位，便于放置被溅镀产品，还由于定位框的设置，还可以避免被溅镀产品的移位；而定位轴套以及定位框套的设置，便于上盖的定位，可快速安全的套结于底板上，节省了时间，也可避免被溅镀产品的刮伤、碰伤。
一种溅镀治具

[发明专利]溅镀系统、在基板上沉积材料的方法及判定溅镀靶材的生命周期的结束的方法-CN201810523374.X有效
发明人：朱玄之;潘建勋;陈彦羽;林群智 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：提供一种溅镀系统及其方法。在一实施例中，溅镀系统包含接收基板的腔室，位于腔室中的溅镀靶材，以及位于溅镀靶材上方的电磁铁阵列。电磁铁阵列包含多个电磁铁。
系统基板上沉积材料方法判定溅镀靶材生命周期结束

[发明专利]一种半导体芯片产品及其局部溅镀治具、局部溅镀方法-CN202111272991.5在审
发明人：王利维;康文彬;汪凯;李胜彪;郝杰;张贤祝 -专利权人：立讯电子科技（昆山）有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种半导体芯片产品及其局部溅镀治具、局部溅镀方法。该局部溅镀治具包括：载具，用于承载和固定半导体芯片产品，半导体芯片产品包括多颗半导体芯片，半导体芯片设置有至少一个保护对象，热解保护层，用于贴附在半导体芯片产品背离载具的一面，且至少覆盖半导体芯片产品上的保护对象，还用于在预设温度范围内发生热解，压板，用于压合热解保护层与半导体芯片产品粘结。本实施例的技术方案，实现了半导体芯片产品的局部溅镀，并且在溅镀完成后通过高温热解的方式，使热解保护层在不受力的情况下从半导体芯片产品上完全脱离，且保证整条状的半导体芯片产品不会发生形变，不会造成溅镀不完全和胶水滞留的情况
一种半导体芯片产品及其局部溅镀治具方法

[发明专利]溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置-CN200910305618.8无效
发明人：王仲培 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-08-14 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置。该溅镀装置还包括驱动装置。该溅镀载具包括顶盖、底盖、多个容置件及多个挡板。该底盖与顶盖相对。该多个容置件相互隔开，用于收容待镀工件。该驱动装置与该溅镀载具相连，用于驱动该溅镀载具围绕平行于顶盖和底盖中轴线的直线转动，并驱动各容置件还同时绕自身中轴线转动。本发明的溅镀装置可避免靶材之间毒化，提高镀膜品质。
溅镀载具包括装置

[发明专利]溅镀装置及溅镀方法-CN200880011831.1有效
发明人：矶部辰德;赤松泰彦;仓田敬臣;新井真;小松孝 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2008-04-24 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：在通过反应性溅镀形成规定的薄膜时，可使处理基板的整个面上的膜厚分布及电阻系数值等膜质大致均匀。设有：在真空容器(11)内的溅镀室内隔规定间隔并列设置的多个阴极靶(31a～31d)；可向各阴极靶提供电力的溅镀电源(E1)、(E2)；可给溅镀室导入溅镀气体及反应气体的气体导入手段(6a、6b)。
装置方法

[发明专利]一种溅镀装置-CN202311032149.3在审
发明人：段烨;吴泓均;张良煜;詹晓魁;姚敦斌;李秋慧;沈滟滟;谢琦;陈乐怡;朱沈甜;杨思彤 -专利权人：宁波工程学院
申请日： 2023-08-16 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种溅镀装置，包括：溅镀室，溅镀室两侧壁分别开设有进气口和出气口，溅镀室内设有升降组件，升降组件上设有平面移动组件，平面移动组件上设有轮台，轮台上设有多级阴极板，溅镀室内顶面设有多级阳极板，多级阴极板与多级阳极板之间形成溅镀区域，进气口朝向溅镀区域，多级阳极板外圈套设有表面电阻传感器；供气机构，供气机构包括溅镀控制系统和气体供给组件，气体供给组件与进气口连通，溅镀控制系统与气体供给组件电性连接
一种装置

[发明专利]一种双色遮蔽内溅镀式车用发光装饰件的制造方法-CN202110252068.9在审
发明人：余泽民;庄吴钏;李叔明 -专利权人：东莞广华汽车饰件科技有限公司
申请日： 2021-03-08 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： B29C45/14 文献下载
摘要：本发明涉及汽车装饰件技术领域，尤其公开了一种双色遮蔽内溅镀式车用发光装饰件的制造方法，将溅镀物料设置在第一透明件上形成透光溅镀层；将第二透明件设置在第一透明件上，光溅镀层夹持在第一透明件与第二透明件之间；在第一透明件或/和第二透明件上设置非透光遮蔽层，非透光遮蔽层与透光溅镀层邻接设置；配置发光件；汽车车辆白天行驶时，借助透光溅镀层对汽车车辆进行装饰，利用两个透明件夹持防护透光溅镀层，避免透光溅镀层因外露磨损而使用不良，延长使用寿命；汽车车辆夜晚行驶时，发光件发出的光线依次穿透第一透明件、透光溅镀层及第二透明件射出，实现对汽车车辆的装饰，提升装饰的多样性，提升消费者体验度。
一种遮蔽内溅镀式车用发光装饰制造方法

[发明专利]精准定位溅镀装置及其定位方法-CN201010107510.0在审
发明人：杨明生;朱富强 -专利权人：东莞宏威数码机械有限公司
申请日： 2010-01-29 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种精准定位溅镀装置，所述精准定位溅镀装置包括有定位夹具，该定位夹具具有与溅镀转盘的定位轴芯匹配的中心孔，定位夹具同轴地装配于连接环上，移动连接环与定位夹具使所述定位夹具的中心孔套于所述溅镀转盘的轴芯上，将连接环固定在精准定位溅镀装置的主体盖板上，精准快速地实现内设有靶材的阴极与承载在溅镀转盘上的待镀光盘之间的定位，提高装配速度。通过所述定位夹具使连接环与定位轴芯保持同心，保障光盘和阴极都处在预期的合适的位置，从而保证溅镀层的溅镀效果，特别是保证溅镀层不偏心，提高光盘成品率。本发明同时公开了一种定位精准快速、装配速度高、能有效防止溅镀层偏心或不均匀、提高光盘成品率的定位方法。
精准定位装置及其方法

[发明专利]以堆栈法制备硬膜的方法-CN200910223091.4无效
发明人：郑兆希 -专利权人：向熙科技股份有限公司
申请日： 2009-11-18 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种以堆栈法制备硬膜的方法，硬膜溅镀于一塑料工件上，以保护塑料工件的外观，包括：提供一溅镀设备，包括一溅镀腔体，用以对塑料工件溅镀硬膜，硬膜层将分三次溅渡。首先，将一硬质膜层以一第一预定厚度溅镀于塑料工件上；接着，将一金属层或一装饰层以一第二预定厚度镀于该硬质膜层上；最后，将一透明硬质膜层以一第三预定厚度溅镀于该金属层上，其中，第一预定厚度和第三预定厚度总和大于
堆栈法制备硬膜方法

[发明专利]塑料基材上镀覆高遮蔽防电磁干扰薄膜的溅镀方法-CN200510100009.0无效
发明人：吴政道 -专利权人：佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司
申请日： 2005-09-30 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种塑料基材上镀覆高遮蔽防电磁干扰薄膜的溅镀方法，包括如下步骤：喷沙处理步骤，以刚玉沙对塑料基材表面进行喷沙处理；清洗步骤，用超声波清洗已经喷沙处理的塑料基材表面；镀膜步骤，以真空溅镀方法在塑料基材表面镀上一层铜膜，再镀上一层银膜，再镀上一层铜膜，构成一“铜+银+铜”的三明治式镀层结构。采用本发明的溅镀镀膜方法，“铜+银+铜”的三明治式的镀层结构有利于降低膜层的单位阻抗，增强膜层的防电磁干扰效果，而且能在一次溅镀中即达成“铜/银/铜/不锈钢”的镀层结构，其遮蔽效果可达到较理想的70dB
塑料基材镀覆遮蔽电磁干扰薄膜方法

[发明专利]溅镀靶及其制造方法-CN201480059727.5有效
发明人：尼古劳斯·赖因弗雷德;迈克尔·朔贝尔;沃尔弗拉姆·克纳布;约尔格·温克勒 -专利权人：攀时奥地利公司
申请日： 2014-10-27 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种由Mo合金构成的溅镀靶，该溅镀靶包含周期表的第5族中的至少一种金属，其中第5族金属的平均含量为5at％至15at％并且Mo含量为≥80at％。该溅镀靶的平均C/O比以(at％/at％)为单位为≥1。根据本发明的溅镀靶能够通过变形制造并且具有改良的溅镀性能。
溅镀靶及其制造方法

[发明专利]溅镀机器人自动上下料装置-CN201610898478.X在审
发明人：卢伟;何殿;汪存益;黄伟 -专利权人：安徽新境界自动化技术有限公司
申请日： 2016-10-14 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本发明公开了一种溅镀机器人自动上下料装置，包括沿前后水平方向设置在地面上的全自动溅镀线，全自动溅镀线前部右侧的地面上设有工作台，工作台上安装有上下料机器人、打磨辊，全自动溅镀线前部左侧地面上沿前后水平方向设有下料输送带本发明采用上下料机器人对全自动溅镀线上的工件进行上下料，无须人工干预，大大提高了整个溅镀过程的工作效率。
机器人自动上下装置

[发明专利]钌系溅镀靶材及其制造方法-CN202080038853.8在审
发明人：丸子智弘;荒川等;大友将平;鈴木雄 -专利权人：株式会社古屋金属
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种Ru系溅镀靶材及其制造方法，该Ru系溅镀靶材无空隙、纯度高、且组织的各向异性程度低，能够成膜具有低粒子性、高膜厚均匀性及高面均匀性的Ru系膜。本发明的钌系溅镀靶材是具有铸造组织的钌系溅镀靶材，所述溅镀靶材的溅镀面具有至少2种以上的区域，所述区域中由X射线绕射的主峰所特定出的结晶面互不相同。
钌系溅镀靶材及其制造方法