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[发明专利]光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法-CN202010737423.7在审
发明人：西川原朋史;关美津留;矢田裕纪;远藤淳生 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供具备使到达光学元件的光被遮光的风险降低的气体供给机构的光学装置。该光学装置具备：第1光学元件及第2光学元件；保持部，保持第1光学元件及第2光学元件；气体供给部，朝向设置于保持部的流路供给控制温度后的气体；以及气体排出部，排出由气体供给部供给的气体，在该光学装置中，在第1光学元件和第2光学元件的排列方向上并排地配置气体排出部。
光学装置投影光学系统曝光以及物品制造方法

[发明专利]光学气体吸收池及光学气体传感器-CN201710062400.9在审
发明人：章欣 -专利权人：章欣
申请日： 2017-01-23 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01N21/39 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学气体吸收池及光学气体传感器，涉及气体检测与分析装置技术领域。该光学气体吸收池包括对壳体进行支撑，且用于连通壳体的内腔与外界的支撑棒；该光学气体传感器包括激光发射装置、上述光学气体吸收池和用于数据处理的信号处理装置。待检测气体从支撑棒一端的进气通气孔中沿其周向环绕进气，从而提高了气体吸收腔内的气体置换速率且气体置换充分无死角，解决了现有技术中存在的光学传感器响应速度慢、检测效率低的技术问题。
光学气体吸收传感器

[实用新型]光学气体吸收池及光学气体传感器-CN201720103106.3有效
发明人：章欣 -专利权人：章欣
申请日： 2017-01-23 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01N21/39 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光学气体吸收池及光学气体传感器，涉及气体检测与分析装置技术领域。该光学气体吸收池包括对壳体进行支撑，且用于连通壳体的内腔与外界的支撑棒；该光学气体传感器包括激光发射装置、上述光学气体吸收池和用于数据处理的信号处理装置。待检测气体从支撑棒一端的进气通气孔中沿其周向环绕进气，从而提高了气体吸收腔内的气体置换速率且气体置换充分无死角，解决了现有技术中存在的光学传感器响应速度慢、检测效率低的技术问题。
光学气体吸收传感器

[发明专利]泄漏检测-CN201610079698.X有效
发明人：保罗·米勒;格雷米·沃克;伊恩·豪伊森;鲁斯·林德利 -专利权人：卡斯卡德技术控股有限公司
申请日： 2016-02-04 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G01M3/32 文献下载
摘要：一种泄漏检测系统，包括：基本密封的累积室，适于容纳单个气体容器；所述累积室被密封为，使得当气体容器处于累积室中时，从容器泄漏的气体累积。提供光学检测器，用于检测泄漏的气体，所述检测器包括光学室。控制器将参考气体引入所述光学室，并随后将来自所述累积室的气体引入光学室。光学检测器能够操作用于使用参考样本和累积室样本来检测泄漏的气体。
泄漏检测

[发明专利]光学膜的制备方法、背光模组和显示模组-CN201911371926.0有效
发明人：段淼;李冬泽;李佳育 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C09J7/10 文献下载
摘要：本申请提出了一种光学膜的制备方法、背光模组以及显示模组。该光学膜的制备方法包括：在装有第一反应物的第一容器中通入第一气体，以形成光学胶水；在第二容器中充满第二气体，光学胶水在第二容器内的基底上形成一层由光学胶水构成的光学胶水层；在第二容器中通入惰性气体，以除去第二气体；光学胶水层形成光学膜；其中，第一气体和第二气体至少包括第二反应物。本申请通过一种新的制备方法获得含钙钛矿材料的光学胶水，并通过该光学胶水在基底上的涂覆，获得钙钛矿材料的质量分数能达50％以上的光学膜，提高了钙钛矿材料光学膜的光转换效率。
光学制备方法背光模组显示

[发明专利]用于改进DUV激光对准的量测-CN202080089555.1在审
发明人：赵中全 -专利权人：西默有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01S3/225 文献下载
摘要：光源设备包括气体放电级、感测设备、光学布置、调整设备和控制设备。气体放电级包括光学放大器和一组光学元件，光学放大器包括被配置为保持输出光束的气体放电介质的腔室，光学元件被配置为在光学放大器周围形成光学谐振器。光学布置被配置为将来自气体放电级内的多个不同物平面的光成像到感测设备上。调整设备与气体放电级内的一个或多个光学组件物理通信，并且被配置为修改光学组件的至少一个几何方面。
用于改进 duv 激光对准

[发明专利]组装光学腔的方法、光学腔以及光学气体吸收池-CN201811643008.4在审
发明人：唐峰;李建国;吕启深;汪献忠;刘顺桂 -专利权人：深圳供电局有限公司;河南省日立信股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： G01N21/03 文献下载
摘要：本发明涉及一种组装光学腔的方法、光学腔以及光学气体吸收池。一种组装光学腔的方法，所述方法包括：提供支撑柱、调整件、两块反射镜和两块固定板；利用所述支撑柱将所述两块固定板相对平行固定；利用所述调整件将所述反射镜可调整地安装在所述固定板上；通过所述调整件使得所述反射镜之间的相对参数为预设参数；以及将所述反射镜固定在所述固定板上，以形成所述光学腔；其中，所述预设参数根据所述光学气体吸收池的光路需求而设定。上述组装光学腔的方法、光学腔以及光学气体吸收池，通过预先组装好已调整至预设参数并固定的光学腔，再将光学腔与气体腔装配成光学气体吸收池，使得光学气体吸收池光路的调整更加简单易操作。
光学腔光学气体吸收池反射镜固定板预设参数调整件组装支撑柱光路平行固定预先组装固定的可调整气体腔装配

[发明专利]光学设备及其工作方法-CN202010886744.3有效
发明人：陈鲁;邓曾红;黄有为;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B01D46/62 文献下载
摘要：本发明提供一种光学设备及其工作方法，其中，所述光学设备包括：供气装置，用于提供清洁气体；分流单元，用于将所述清洁气体分为第一清洁气体和第二清洁气体；第一过滤装置，用于对所述第一清洁气体进行第一过滤处理，所述第一过滤装置包括酸碱过滤器，所述酸碱过滤器用于去除所述第一清洁气体中的酸性和/或碱性气体，形成第三清洁气体；与所述第三清洁气体连通的光学腔室，所述光学腔室内用于形成光路；与第二清洁气体连通的气动装置，所述第二清洁气体用于为气动装置提供力的作用。所述光学设备能够在减少光学元件污染的条件下，降低成本。
光学设备及其工作方法

[发明专利]一种光谱分析仪器中光学元件的气体保护装置-CN201711005464.1在审
发明人：蓝靖 -专利权人：蓝靖
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： G01N21/15 文献下载
摘要：本发明提供一种光谱分析仪器中光学元件的气体保护装置，包括供气装置、气流管道和装置本体；所述气流管道将所述供气装置和所述装置本体连通；所述装置本体包括气体入口、气体通道和气体出口，所述气流管道在所述气体入口将气流导入所述气体通道，气流经气体通道传输后由气体出口排出；从所述气体出口排出的压力气流形成气流平面，喷射在光学元件的周围起到保护作用。本发明的保护装置起到保护光学器件，使其免受各种飞溅物质的污染，避免光学器件损毁，减少光学器件性能损失的作用。
一种光谱分析仪器光学元件气体保护装置

[实用新型]一种锂离子电池组热失控早期预警系统-CN202320528943.6有效
发明人：廖正海;万保权;张建功;干喆渊;赵军;刘兴发;李妮;张业茂;王延召;倪园;周兵;胡静竹;谢辉春;路遥;徐吉来;万皓;贺伟;刘震寰 -专利权人：中国电力科学研究院有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01M10/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种锂离子电池组热失控早期预警系统，包括：气泵，用于锂离子电池箱与光学气体传感检测系统之间的气体循环；光学气体传感检测系统，用于通过特征气体的浓度变化实现热失控的预测与早期预警；光学气体传感检测系统的出气通道和光学气体传感检测系统的进气通道，用于形成光学气体传感检测系统和锂离子电池箱之间的气体通道；电磁阀，用于控制气路通道的开启和关闭；消防用预留端口，用于锂离子电池的热失控消防管理；锂离子电池箱，是完全密闭的且具有防爆功能的特种箱或者空间，用于存放锂离子电池；锂离子电池，实现分布式能源的存储；气体过滤分离器，用于将进入光学气体传感检测系统的气体进行干燥以及灰尘颗粒的过滤。
一种锂离子电池组失控早期预警系统

[发明专利]一种氧化亚氮监测装置及其监测方法-CN201810859257.0有效
发明人：白宇轩;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：白宇轩
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G01N13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化亚氮监测装置，所述装置包括红外光源、第一光学腔、窄带滤光片、第一红外热电检测器、第一气体扩散孔、第二光学腔、第二红外热电检测器、第二气体扩散孔；所述红外光源位于第一光学腔、第二光学腔的一端，并为第一光学腔和第二光学腔提供光源；所述第一光学腔上有第一气体扩散孔；所述第二光学腔上有第二气体扩散孔；所述第一光学腔、第二光学腔的另一端和窄带滤光片连接；所述窄带滤光片分别和第一红外热电检测器、第二红外热电检测器连接；通过设置两个光学腔体的方式增加了监测数据的精确性，同时由于两个光学腔的气体扩散孔开孔方向不同，能够根据两个腔体采集的浓度变化得到气体扩散方向。
一种氧化亚氮监测装置及其方法

[实用新型]一种用于气矿井口泄漏监测的激光气体检测光学结构-CN202022369877.1有效
发明人：刘学洋;潘瑞超 -专利权人：大连向量集传感技术有限公司
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G01M3/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于气矿井口泄漏监测的激光气体检测光学结构，其特征在于，包括收发一体的激光气体遥测传感器和多个光学反射镜；所述激光气体遥测传感器和所述光学反射镜设置在待监测气矿井口的四周，且所述激光气体遥测传感器上具有金属光学反射镜，所述激光气体遥测传感器发出的监测激光经过所述金属光学折射镜和多个光学反射镜后，返回所述激光气体遥测传感器中，所述监测激光围绕所述待监测气矿井口形成闭合的光学监测路径。本实用新型可实现使用一台收发一体的激光气体遥测传感器和若干光学反射镜即可实现闭合的光学监测路径，这个闭合的光学路径将井口包围住，实现井口的无盲区泄漏监测，具有很高的现实实用意义。
一种用于矿井泄漏监测激光气体检测光学结构

[发明专利]光学气体吸收池及光学气体传感器-CN201710062471.9在审
发明人：章欣 -专利权人：章欣
申请日： 2017-01-23 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01N21/39 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学气体吸收池及光学气体传感器，涉及气体检测与分析装置技术领域。该光学气体吸收池包括由入射反射镜、出射反射镜和套筒形成的用于容纳待检测气体的吸收腔；该光学气体传感器包括激光器和上述光学气体吸收池，激光器与入射窗口片之间连接有光纤准直器，出射窗口片外还连接有用于接收光信号的探测器和信号处理模块激光在吸收腔内的入射反射镜和出射反射镜之间多次反射被吸收，在确保激光在吸收腔内被待检测气体吸收的有效光程的基础上，大大减小吸收腔的体积，从而提高了吸收腔中的气体置换速率，相应提高了光学气体传感器的响应速度和检测效率
光学气体吸收传感器

[发明专利]压力控制式光谱特征调整器-CN202080024272.9在审
发明人： E·A·梅森;G·G·帕德马班杜 -专利权人：西默有限公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：一种装置包括气体放电系统，该气体放电系统包括气体放电腔室并且被配置为产生光束；以及光谱特征调整器，该光谱特征调整器与由气体放电腔室生成的前体光束光学连通。光谱特征调整器包括主体，该主体限定内部，该内部保持处于低于大气压力的压力；至少一个光学通路，该至少一个光学通路限定在气体放电腔室与主体的内部之间，该光学通路对于前体光束是透明的；以及光学元件集合，该光学元件集合位于内部内，该光学元件被配置为与前体光束相互作用。
压力控制光谱特征调整器

[实用新型]气体样本室-CN201520127774.0有效
发明人：陈利平 -专利权人：陈利平;裴世铀
申请日： 2015-03-05 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气体样本室，所述气体样本室包括光学谐振腔和一空心反射管，光学谐振腔由光学谐振腔反射镜构成；空心反射管为一根容纳待分析气体且光学谐振腔内激光束从一端进入另一端射出的空心管子，放置在光学谐振腔其中两个光学谐振腔反射镜之间，光学谐振腔内激光束在空心反射管内壁内部传播，同管内待分析气体分子作用产生散射光；散射光在空心反射管内部经过管壁多次反射，从空心反射管两端射出。该气体样本室采用压电陶瓷(PZT)精确调整光学谐振腔腔长，使光学谐振腔锁定外部入射激光束纵模，光学谐振腔内形成增强激光光束。该气体样本室对拉曼散射光信号的增强效果是单纯光学谐振腔增强技术增强效果的几十倍，甚至更高，极大地提高了气体探测的灵敏度。
气体样本

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