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[发明专利]一种光子筛像差分析方法-CN201810961551.2在审
发明人：成雪清;周鹏云;陈雅丽;唐霞梅;方艾黎;梁军;潘科;谭依玲 -专利权人：西南化工研究设计院有限公司
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G02B27/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种光子筛像差分析方法，从光子筛光瞳面相位和点扩散函数的数学关系出发，建立光子筛衍射模型，计算光子筛的点扩散函数；根据光子筛的点扩散函数逆推出光子筛光瞳面的相位，即光瞳面相位就是光子筛的等效波像差与现有技术相比，本发明打破了惯性的思路，从光子筛光瞳面相位和点扩散函数的数学关系出发，从光子筛的点扩散函数逆推出光子筛光瞳面的相位。并且建立光子筛波像差模型也有助于光子筛和其他光学系统比如折射透镜的混合设计。
光子筛点扩散函数光瞳波像差像差光学系统数学关系评估指标折射透镜畸变推导场曲慧差球差象散衍射分析

[发明专利]大高宽比光子筛及其制备方法-CN201110021380.3无效
发明人：谢常青;辛将;朱效立;潘一鸣;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-01-19 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种大高宽比光子筛及其制备方法。该大高宽比光子筛，包括衬底和光子筛柱。其中：衬底包括光子筛区域和边缘区域，边缘区域对预设波长的光不透明，光子筛区域除光子筛柱所在的区域外对预设波长的光透明；光子筛柱，为近似圆柱形，位于光子筛区域中对应于菲涅尔波带片亮环的位置，对预设波长的光不透明本发明可以高效率地控制高宽比，从而可以更好的制作位相型或者振幅型光子筛。
大高宽光子及其制备方法

[发明专利]光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法-CN201010263339.2有效
发明人：程冠晓;胡超 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2010-08-25 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：一种光子筛相衬物镜，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上此外，还提供光子筛相衬物镜的制造方法及成像方法。上述光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法，采用光子筛透镜抑制旁瓣和高阶衍射焦点，成像分辨率和成像对比度高；光子筛透镜与变相板刻蚀在同一基底上且变相板设在光子筛透镜的表面，光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上
光子筛相衬物镜制造方法成像

[发明专利]一种拼接大口径光子筛的制作方法-CN201810540784.5在审
发明人：许峰;郑鹏磊;胡正文;王钦华 -专利权人：苏州大学
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明属于光学领域，为解决制作大口径光子筛拼接误差导致拼接后光子筛分辨率降低的技术问题，公开了一种拼接大口径光子筛的制作方法，具体步骤如下：根据光子筛的口径、工作波长等参数确定光子筛筛孔的位置分布及筛孔的大小，其中光子筛筛孔的位置分布是经过位相编码的；将设计好的大口径光子筛分成若干个子区间；单独加工每一个子区间；将子区间拼接成完整的光子筛；利用数字图像复原技术将物体通过拼接光子筛所成的像进行复原；本发明能够制造大尺寸的光子筛，并且利用波前编码技术降低了光子筛拼接时的装调精度，并同时保证了拼接后的完整光子筛的成像质量。
光子筛拼接大口径光子筛筛孔位置分布子区间制作数字图像复原技术分辨率降低波前编码参数确定单独加工工作波长光学领域位相编码装调成像复原口径制造保证

[实用新型]一种大口径拼接光子筛-CN201820824532.0有效
发明人：许峰;郑鹏磊;胡正文;王钦华 -专利权人：苏州大学
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： G02B27/44 文献下载
摘要：本新型属于光学技术领域，为解决大口径光子筛拼接误差导致拼接后光子筛分辨率降低的技术问题，公开了一种大口径拼接光子筛，该大口径拼接光子筛由若干个子光子筛拼接而成，拼接后的大口径拼接光子筛的小孔位置分布满足以下方程file="DEST_PATH_DDA0001881815400000011.GIF" wi="700" he="73"/>小孔大小为菲涅尔波带片亮环带宽度的倍数；在使用时利用数字图像复原技术将物体通过拼接光子筛所成的像进行复原即可获得清晰的像；本技术方案能够制造大尺寸的光子筛，并且利用波前编码技术降低了光子筛拼接时的装调精度，并同时保证了拼接后的完整光子筛的成像质量。
光子筛拼接大口径数字图像复原技术大口径光子筛菲涅尔波带片光学技术领域分辨率降低波前编码小孔位置亮环小孔装调成像复原清晰制造保证

[发明专利]一种制作大高宽比光子筛的方法-CN201010544443.9有效
发明人：谢常青;辛将;朱效立;高南;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2010-11-12 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种制作大高宽比光子筛的方法，该方法包括：制作光子筛掩模版和光学套刻掩模版；利用光子筛掩模版做掩模做X射线复制得到第一复制掩模版；利用第一复制掩模版再次做X射线复制得到第二复制掩模版；利用光学套刻掩模版做掩模，对第二复制掩模版的光子筛图形进行光学套刻，得到大高宽比光子筛。相对于传统的光子筛制作方法，本发明的优势在于制作更高高宽比的光子筛，获得工作波长更短的光子筛。
一种制作大高宽光子方法

[发明专利]分数分形光子筛的构造方法及其制成的光子筛-CN201910796102.1有效
发明人：陶少华;夏天;程书博 -专利权人：中南大学
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种分数分形光子筛的构造方法，包括确定分数分形光子筛的第一最优比值和第二最优比值；根据分数分形光子筛的第二最优比值确定其对应的分数分形光子筛的最优切趾窗口值；构造最终的分数分形光子筛。本发明还公开了一种采用所述分数分形光子筛的构造方法构造的光子筛。本发明提供的这种分数分形光子筛的构造方法及其制成的光子筛，制作简单，而且能产生带有许多次焦点可任意设计的一级主焦点，也能降低高级衍射的光强，并且能够同时在多个平面成像，在三维空间中同时捕获微粒，以及用于多平面光刻
分数光子构造方法及其制成

[发明专利]部分环带光子筛及其制作方法-CN200810115562.5有效
发明人：贾佳;谢长青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2008-06-25 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种部分环带光子筛，该部分环带光子筛由在透明介质上制作而成的衍射孔和刻蚀圆环构成，所述衍射孔是在透明介质上制作形成普通光子筛时普通光子筛的衍射孔，所述刻蚀圆环是在透明介质上制作形成普通光子筛后，在形成普通光子筛衍射孔以外的菲涅耳波带片圆环的环带上刻蚀形成的圆环位相环。
部分环带光子及其制作方法

[发明专利]圆环型光子筛及其制作方法-CN200710303889.0无效
发明人：贾佳;姜骥;谢长青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2007-12-26 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： G02B27/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆环型光子筛，该圆环型光子筛是一种在透明介质上，先制造普通的光子筛，然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环，形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。本发明同时公开了一种制作圆环型光子筛的方法。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布，即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。
圆环光子及其制作方法

[发明专利]位相型波带片光子筛-CN200810118972.5有效
发明人：贾佳;谢长青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2008-08-27 - 公布日： 2010-03-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种位相型波带片光子筛，该位相波带片光子筛由中心部分的位相菲涅耳波带片圆环和包围在该位相菲涅耳波带片圆环周围的光子筛圆孔构成。所述位相菲涅耳波带片圆环和光子筛圆孔均制作在透明介质上，先在透明介质上制作位相菲涅耳波带片，在该位相菲涅耳波带片周围制作光子筛，光子筛的圆孔包围位相菲涅耳波带片的圆环。光子筛最外环小孔的直径与位相菲涅耳波带片最外环环带的宽度一致，二者都受限于微细加工得最小线宽。光子筛在制作时所基于的波带片与其内部所包围的位相菲涅耳波带片的参数相同，且每个圆孔的直径是相应环带宽度的1.5倍。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射光强的提高，即实现了激光束远场衍射斑的主斑能量的提升。
位相波带片光子

[发明专利]一种基于波前编码技术的宽带光子筛-CN201510288064.0有效
发明人：王钦华;赵效楠;许峰 -专利权人：苏州大学
申请日： 2015-05-30 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于波前编码技术的宽带光子筛，其特征在于具有一位相编码板，所述位相编码板的一个表面为位相编码面，另一个表面为平面，所述平面后紧贴有光子筛，所述位相编码面选自三次编码面、对数编码面、正弦编码面中的一种，所述光子筛对透过所述位相编码面的光线衍射成像。本发明创造性地将波前编码技术引入光子筛领域，在光子筛之前设置了位相编码板，对进入光子筛的光线进行波前编码，减少了光子筛对波长的敏感性，达到了拓展带宽的目的。
一种基于编码技术宽带光子

[发明专利]超分辨光子筛-CN200810227457.0有效
发明人：贾佳;谢长青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2008-11-25 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： G02B27/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种超分辨光子筛，该超分辨光子筛是在透普通的光子筛上集成刻蚀等孔径的超分辨位相环，从而形成由普通光子筛和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相板。本发明将超分辨技术的圆孔衍射数学处理工具和普通光子筛结合起来，实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布，即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。
分辨光子

[发明专利]阵列环带光子筛匀光器及其制作方法-CN200910093277.2无效
发明人：贾佳;谢长青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2009-09-16 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列环带光子筛匀光器及其制作方法。该阵列环带光子筛匀光器是一种在透明介质上制造的环带光子筛阵列，采用环带光子筛作为阵列的基本单元。该环带光子筛由多条同心的衍射孔环带与多条同心的刻蚀圆环环带交替嵌套而成，且与该环带光子筛中心距离最近的是一衍射孔环带；衍射孔环带的宽度与刻蚀圆环环带的宽度分别由该环带光子筛中心向外逐渐递减，且衍射孔环带的宽度与在远离该环带光子筛中心方向与其相邻的刻蚀圆环环带的宽度相等
阵列环带光子筛匀光器及其制作方法

[发明专利]一种基于检测波前编码系统的光子筛对准方法-CN201710262507.8有效
发明人：许峰;李强;周文彩;赵效楠;姚宇佳 -专利权人：苏州大学
申请日： 2017-04-20 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种基于检测波前编码系统的光子筛对准方法，在主全息外围加入光子筛，将光子筛放在汇聚光路中，通过观察光子筛的干涉条纹，采用计算全息法对波前编码系统相位进行反向调制，使得主全息与波前编码系统的顶点曲率中心重合且旋转对称轴线重合本发明通过在主全息外围设计了一个光子筛作为检测波前编码系统的对准系统，观察通过光子筛的干涉条纹判断主全息板是否存在离焦、偏心及倾斜，从而实现主全息的精确定位。
光子筛全息编码系统检测波波前编码干涉条纹对准外围顶点曲率中心偏心对准系统汇聚光路计算全息系统相位旋转对称轴线重合全息板重合调制观察离焦

[实用新型]一种大视场衍射光子筛-CN201620822952.6有效
发明人：赵效楠;朱爱娇;王钦华;许峰 -专利权人：苏州大学
申请日： 2016-08-01 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大视场衍射光子筛，直径为D，包括透明平面基底和镀在该透明平面基底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上设有环带状分布的通光小孔，所述通光小孔的位置分布满足方程其中，f为光子筛的焦距，n为通光环带的环带序列，λ为光子筛的工作波长，R为光子筛的半径，η为小孔分布的操控系数，xm和ym是光子筛第m个小孔的中心位置，m＝1,2,3,…,num，其中通光环带半径约为小孔半径本实用新型提出的大视场衍射光子筛的最终成像对离轴像差不敏感，可以在大的视场范围内清晰成像，与传统光子筛相比，在相同数值孔径下的视场角度有明显的拓展。
一种视场衍射光子

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