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- [实用新型]一种分片器-CN202020100026.4有效
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刘珊珊;王潇斐
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芯恩（青岛）集成电路有限公司
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2020-01-16
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2020-07-14
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种分片器，所述分片器包括：框体，其上表面设有开口；若干分片体，依次排布于所述框体内，所述分片体中心设有中心孔；中心杆，穿过所述中心孔，水平固定于所述框体内，与所述中心孔配合，以限定所述分片体的上下移动距离；与所述分片体一一对应的杠杆以及支点，以分别抬高各所述分片体。通过增加需分片的晶圆的高度，以避免在晶圆分片时，因晶圆间间隙小或操作时手误导致的分片时划伤晶圆的问题，从而提高良率；支撑晶圆的分片体采用聚乙烯亚胺材质，具有耐磨抗静电特性，可以减少静电为晶圆的损害，与没有增加对晶圆污染的风险
- 一种分片
- [实用新型]一种12吋晶圆盒门体解锁机构-CN202120696627.0有效
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石春潮;蒋红光
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嘉兴微拓电子科技股份有限公司
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2021-04-07
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2021-10-08
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H01L21/673
- 本实用新型提出一种12吋晶圆盒门体解锁机构，包括支承装配组件、吸合定位组件、插接定位组件、插接解锁组件及解锁驱动组件，支承装配组件安装于移动机构上，支承装配组件上具有安装空间，吸合定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体的外壁表面配合，插接定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的插接结构配合，插接解锁组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的锁定结构配合，解锁驱动组件安装于支承装配组件上，并通过传动结构与插接解锁组件衔接，该解锁机构通过驱动电机带动解锁钥匙转动解锁钥匙转动，对晶圆盒门体进行解锁，晶圆盒门体在解锁后可随支承基板一同移走，将晶圆盒打开，操作便捷，有利于提升工作效率。
- 一种12吋晶圆盒门体解锁机构
- [实用新型]一种晶圆载具-CN202121008418.9有效
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来征;刘奇
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威科赛乐微电子股份有限公司
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2021-05-12
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2022-01-14
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H01L21/683
- 本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆载具，包括载盘，载盘上表面为晶圆吸附面，载盘上开设有若干阶梯孔，载盘的底部一体成型有环体，环体内滑动设置有调节盘，载盘、环体和调节盘三者形成调节腔，环体于载盘底部一体成型有安装环，安装环上一体成型有多根安装柱，调节盘上开设有多个第一通孔，安装柱上套设有压缩弹簧，压缩弹簧的一端与安装环底面相接，另一端与调节盘顶面相接，调节盘上安装有多个单向阀，环体的一侧开设有通气孔，通气孔内密封连接有气阀解决现有技术晶圆移动至载台上的过程中极易破片，且真空吸盘固定晶圆时，晶圆各处的吸力不同，容易导致晶圆翘曲，影响晶圆的测试效果的问题。
- 一种晶圆载具
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