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- [发明专利]一种气浮载台-CN202210105746.3在审
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闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊
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河南通用智能装备有限公司
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2022-01-28
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2022-05-17
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H01L21/677
- 本发明公开了一种气浮载台,包括:底板,底板的上表面两侧均设置有侧板,两侧的侧板顶部固定有DD马达安装板,侧板上均安装有载台气浮平板轴承,侧板外部设置有载台气浮平板轴承,载台气浮平板轴承旋入载台气动直通接头,侧板内壁上设置有载台气动三通接头,侧板外侧设置载台气动L型接头,所述底板上设置有正压入口和负压入口。本发明经正压连通管道内的排出的气流,使得底板与大理石基座之间形成气膜,将气浮载台托起,溢出的空气一部分进入真空吸附腔从负压口排除。经载台气浮平板轴承排出的气流与横梁之间形成气膜,气浮载台通过X轴直线电机驱动,在运行过程中,通过正压与负压之间配合能够平稳的运行。
- 一种气浮载台
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