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- [发明专利]一种多晶硅铸锭熔料及排杂工艺-CN201410041954.7有效
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周建华
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西安华晶电子技术股份有限公司
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2014-01-28
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2014-04-23
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C30B11/00
- 本发明公开了一种多晶硅铸锭熔料及排杂工艺,包括步骤:一、预热:采用铸锭炉对装于坩埚内的硅料预热,并将铸锭炉加热温度逐步提升至T1;预热时间为6~10h,T1=1165~1185℃;二、熔化,熔化温度为T1~T5;T5=1540~1560℃;熔化过程中,向铸锭炉内充入惰性气体并将炉内气压保持在Q1,Q1=550~650mbar;三、排杂,过程如下:第11步、降压:将铸锭炉气压由Q1降至Q2,降压时间为8~本发明方法步骤简单、设计合理、实现方便且易于掌握、使用效果好,能将炉内含碳气体及时排出,并提高多晶硅铸锭质量。
- 一种多晶铸锭料及杂工
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