[发明专利]弹性表面波装置无效
| 申请号： | 90103485.1 | 申请日： | 1990-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1015041B | 公开（公告）日： | 1991-12-04 |
| 发明（设计）人： | 家木英治;樱井敦;木村幸司 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 颜承根 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用基板4的弹性表面波装置，该基板备有单晶介质2及外延生长在其表面上的压电薄膜3，沿介质2和压电薄膜3的界面形成构成叉指式电极的铝电极5。此铝电极5由在结晶方位方面是在一定方向上取向的铝膜组成，因此可抑制铝电极5的应力迁移，且压电薄膜3在其整个面上都能外延生长。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 装置 | ||
【主权项】：
1.一种弹性表面波装置，其特征包含具备含有表面的单晶介质、和外延生长在上述介质的上述表面上的压电薄膜的基板；及沿上述介质和上述压电薄膜的界面所形成的电极装置；其特征在于：上述电极装置含有在结晶方位方面在一定方向上取向的铝膜。
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