[发明专利]弹性表面波装置无效
| 申请号： | 90103485.1 | 申请日： | 1990-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1015041B | 公开（公告）日： | 1991-12-04 |
| 发明（设计）人： | 家木英治;樱井敦;木村幸司 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 颜承根 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种弹性表面波装置，其特征包含
具备含有表面的单晶介质、和外延生长在上述介质的上述表面上的压电薄膜的基板；及
沿上述介质和上述压电薄膜的界面所形成的电极装置；
其特征在于：
上述电极装置含有在结晶方位方面在一定方向上取向的铝膜。
2、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于上述单晶介质由蓝宝石构成，上述压电薄膜由氧化锌构成，上述铝膜为（311）面取向膜。
3、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于上述铝膜含有添加物，该添加物由Cu、Ti、Ni、Mg及Pd所形成的组中选出的至少一种元素组成。
4、如权利要求3所述的弹性表面波装置，其特征在于上述添加物在上述铝膜中的含量为0.1重量%至10重量%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/90103485.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
