[发明专利]一种半导体车间超纯水系统在审
| 申请号： | 202311087406.3 | 申请日： | 2023-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN116924498A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张凤和 | 申请（专利权）人： | 苏州曼恺系统集成有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00;C02F1/20;C02F1/44;B01D46/42;C02F103/04 |
| 代理公司： | 苏州创胜知识产权代理事务所(普通合伙) 32720 | 代理人： | 赵磊 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体车间超纯水系统，包括滤气机构，滤气机构的一侧连接有注氧机构，注氧机构的底端设置有底架，注氧机构上设置有溶氧机构；注氧机构包括第一三通管，且注氧机构通过第一三通管与滤气机构相连，第一三通管的两个输出端分别设置有第一电磁阀，且第一三通管的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓，两个密封储液仓的同一侧内壁分别设置有排水口，且每个排水口上分别设置有第二电磁阀，两个密封储液仓的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头，且多个注氧头分为两组，每组注氧头分别连接有通气总管。本发明公开的半导体车间超纯水系统具有在流动水的处理过程中精准控制超纯水内的含氧量的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 车间 超纯水 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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