[发明专利]用于光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法在审
| 申请号： | 202310973508.9 | 申请日： | 2023-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN116924324A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 单崇新;林超男;张镇峰;焦富行;赵文博 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 郑州市华翔专利代理事务所(普通合伙) 41122 | 代理人： | 马鹏鹞 |
| 地址： | 450000 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种本发明的光学传声金刚石微悬臂梁的制备方法，首先将镜面抛光的钼片置入到微波等离子体设备中，控制通入的甲烷浓度，温度，内部压力，微波功率，生长时间等，实现对金刚石薄膜生长过程的控制，然后利用钼片和金刚石的热膨胀系数不同的特点，缓慢降温，生长完成的金刚石薄膜从钼片表面脱离下来，从而得到微米级超薄的、可用于光学传声领域的金刚石自支撑膜，最后通过激光切割在该金刚石自支撑膜上形成金刚石微悬臂梁，经测试，该金刚石微悬臂梁通过声波驱动其振动的灵敏度更高，同时能够覆盖的声波频率范围更宽，上述制作过程不涉及化学刻蚀与腐蚀基底的过程，制作过程更为环保，钼片本身还可以多次抛光反复使用，整体制作成本更低廉，更利于该金刚石微悬臂梁市场化推广。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 传声 金刚石 悬臂梁 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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