[发明专利]一种镜头照明系统在审
| 申请号： | 202310814042.8 | 申请日： | 2023-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN116931384A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 黄光蓉;朱红伟;邱盛平 | 申请（专利权）人： | 成都联江科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/198 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 李菁芸 |
| 地址： | 610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种镜头照明系统，所述镜头照明系统包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；其中，所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件，所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上，所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置，以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。本发明旨在解决现有相关技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜头 照明 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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