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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种镜头照明系统-CN202310814042.8在审
发明人： 黄光蓉;朱红伟;邱盛平 -专利权人：成都联江科技有限公司
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种镜头照明系统，所述镜头照明系统包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；其中，所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件，所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上，所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置，以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。本发明旨在解决现有相关技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果的问题。
一种镜头照明系统

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