[发明专利]高压悬浮离子源及包括高压悬浮离子源的设备在审
| 申请号： | 202310747800.9 | 申请日： | 2023-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN116646232A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 陈政阁;张水安;李杨威;黄奇;黄志锰 | 申请（专利权）人： | 广东省麦思科学仪器创新研究院 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/16;H01J49/02 |
| 代理公司： | 广州华享智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44576 | 代理人： | 孔德超 |
| 地址： | 510535 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种高压悬浮离子源，涉及离子源技术领域，其包括绝缘腔、样品台、离子源模块以及接线端，样品台安装于绝缘腔中，离子源模块安装于绝缘腔外侧，在绝缘腔上设置有光路孔，光路孔内安装有透光件，离子源模块发出的能量源穿过透光件照射至样品台上放置的样品上，接线端位于绝缘腔内，且接线端的一侧与悬浮高压电性连接，接线端的另一侧与绝缘腔内所有需要加悬浮电压的电极电性连接，本发明还公开了一种包括上述高压悬浮离子源的设备。本发明实施例首先选择将腔体内部需要加悬浮电压的电极全部连通，并将样品所在腔体进行绝缘处理，可以解决悬浮高压离子源大范围放电的问题，尤其是中低真空度下悬浮高压离子源大范围放电的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 高压 悬浮 离子源 包括 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东省麦思科学仪器创新研究院，未经广东省麦思科学仪器创新研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310747800.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
