[发明专利]一种氮化物LED有源微机械雷达锅及制作方法在审

专利信息
申请号: 202310691105.5 申请日: 2023-06-12
公开(公告)号: CN116937138A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 朱刚毅;邵衡;马迪;田沐霏 申请(专利权)人: 南京邮电大学
主分类号: H01Q1/36 分类号: H01Q1/36;H01L33/12;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00;B05D1/00;C23C14/30;C23C14/18;H01Q19/13;H01Q3/08;G01S7/03
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 范青青
地址: 210003 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了纳米声波操控技术领域的一种氮化物LED有源微机械雷达锅及制作方法,旨在解决现有技术中雷达锅在转变探测方向时不能进行发光的问题。雷达锅包括硅衬底层,还包括微腔结构,所述微腔结构的中心由硅衬底层的顶部支撑,其余部分处于悬空状态;所述雷达锅在转变探测方向时,所述微腔结构能够产生自发辐射的荧光,照向所述雷达锅的探测方向;本申请能够在发射超声波时雷达锅指向超声波发射方向且发光照向超声波发射方向。
搜索关键词: 一种 氮化物 led 有源 微机 雷达 制作方法
【主权项】:
暂无信息
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