[发明专利]氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法和镀膜玻璃片在审
| 申请号： | 202310678825.8 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116768603A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C03C17/245 |
| 代理公司： | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 黄迅 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，公开了一种氧化铟钛钽铈靶材，由氧化铟铈钽钛前驱体经过干压和冷等静压处理后烧结得到，氧化铟铈钽钛前驱体中的金属氧化物由氧化铟、氧化铈、氧化钽、氧化钛以重量比98.73～99.42：0.43～0.19：0.64～0.30：0.20～0.09的比例组成。该靶材采用干压和冷等静压处理后烧结的工艺，结合配方优化，可改善镀膜玻璃的方阻、透过率、迁移率。同时，本发明还提供了该靶材的制备方法和镀膜玻璃。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 铟钛钽铈靶材 及其 制备 方法 镀膜 玻璃片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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