[发明专利]一种晶圆沟道的直写填充装备

摘要

本发明公开了一种晶圆沟道的直写填充装备，属于晶圆沟道填充设备技术领域，包括有工作台、机架、移动载物台、十字模组、激光检测系统、视觉实时监控系统、直写填充装置、填充视觉监测系统；所述十字模组安装在所述机架上；所述移动载物台位于所述工作台上，带动晶圆运动至直写填充位置；所述视觉实时监控系统用于对沟道的填充过程进行实时监控；所述直写填充装置用于对晶圆沟道进行直写填充；所述填充视觉监测系统用于监测所述直写填充装置的填充高度。本发明提供的晶圆沟道的直写填充装备，自动化程度高，减少了填充材料的使用量，减少了打磨面积，提高了生产效率，节约了生产成本。