[发明专利]一种研磨液、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 202310445096.1 | 申请日： | 2023-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN116694303A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 侯军;孙西;李传强 | 申请（专利权）人： | 江苏奥首材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00 |
| 代理公司： | 大连大工智讯专利代理事务所(特殊普通合伙) 21244 | 代理人： | 崔雪 |
| 地址： | 215513 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种研磨液、其制备方法及应用。本发明研磨液包括重量配比如下的各组分：溶剂60‑90份；分散剂1‑5份；润湿剂1‑5份；螯合剂1‑5份；磨料0.1‑1份；所述溶剂为矿物油类和/或烷烃类溶剂的混合物。本发明还提供了所述研磨液的制备方法及其在氮化镓、碳化硅、砷化镓或磷化铟磨领域的用途。本发明研磨液安全、环保、高效，用其研磨氮化镓能有效提高氮化镓研磨后表面质量，具有粗糙度低、划痕数量少的高表面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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