[发明专利]一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法在审
| 申请号： | 202310428942.9 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116482408A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 李海;黄海健;张宪民;朱本亮;廖瑜;赖建豪;许诺 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01Q10/06 | 分类号： | G01Q10/06;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 黄月莹 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法，包括以下步骤：建立区域灰度变化与扫描机构末端位姿的直接关联模型，并给出了基于PI逆模型的磁滞补偿策略，可在低视觉延时的基础上实现对复杂扫描轨迹的精准伺服控制；实现该方法的装置包括有原子力显微镜、柔顺纳米定位平台、普通定位平台、倒置显微镜、相机、滑台、倒置显微镜夹具、平台支柱、计算机及视觉伺服控制系统。以本发明作为原子力显微镜扫描控制方法和装置进行扫描，具有扫描频率上限高，扫描精度高和能以较高的效率提升现有原子力显微镜的扫描性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 视觉 引导 高速 原子 显微镜 扫描 方法 | ||
【主权项】：
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