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[发明专利]经由原子力显微镜进行纳米级动态力学分析(AFM-NDMA)-CN202210389607.8有效
发明人：谢尔盖·奥斯钦斯基;安东尼奥斯·鲁伊特;B·皮腾杰;赛义德-阿西夫·赛义德-阿玛努拉 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2019-08-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01Q10/06 文献下载
摘要：本申请涉及经由原子力显微镜进行纳米级动态力学分析(AFM‑NDMA)。一种基于原子力显微镜的设备和方法包括硬件和软件，其被配置为以动态方式收集并分析表示软材料在纳米级上的力学性质的数据，以绘制软材料样品的粘弹性性质。使用该设备作为现有原子力显微镜装置的补充。
经由原子显微镜进行纳米动态力学分析 afm ndma

[发明专利]基于原子力显微镜的可控探测深度红外光谱的方法及装置-CN202180065218.3在审
发明人：亚历山大·达齐;阿尼尔班·罗伊;杨红华 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01Q60/34 文献下载
摘要：一种用于使用扫描探针显微镜获取关于样品亚微米区域的光学光谱信息的方法，其中所述样品亚微米区域具有定量控制的样品表面下的深度/体积。通过控制探测深度/体积，所述方法可以将顶表面数据与表面下的光学/化学信息分离。与所述方法也可应用于适合于在天然水环境中研究生物和化学样品的液体，而不是空气。在所述方法中，通过用红外辐射束照射样品并使用探针的至少一个共振频率测量探针响应来构建表面层的深度受控光谱。通过限制表面下的热扩散效应以限制信号来获取表面灵敏度。信号限制通过声波与探针的非线性以及红外辐射源在1MHz的高调制频率获得的益处来实现。
基于原子显微镜可控探测深度红外光谱方法装置

[发明专利]基于X射线检验集成电路的方法和系统-CN202180065195.6在审
发明人：布伦南·洛夫莱斯·彼得森;哈克·丘阿·斯姆;安德鲁·乔治·里德;纳比尔·法拉·达瓦雷·奥利维里 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：在一个实施例中，一种自动化高速X射线系统可以在与被检验样本的平面基本正交的方向上生成所述被检验样本的高分辨率的X射线图像。所述系统可以基于与所关注的第一要素相关联的X射线图像的灰度值来确定所述被检验样本中所述所关注的第一要素的第一部分的第一横截面形状。所述系统可以确定所述被检验样本中所述所关注的第一要素的第二部分的第二横截面形状。所述第二横截面形状可以基于与所述所关注的第一要素相关联的X射线图像的灰度值来确定。所述系统可以基于所述第一横截面形状与所述第二横截面形状的比较来确定与所述被检验样本中的所述所关注的第一要素相关联的一个或多个第一计量参数。
基于射线检验集成电路方法系统

[发明专利]用于从样品表面机械清洁纳米级碎片的装置及制造方法-CN202180050955.6在审
发明人：王伟杰;胡水清;杰森·奥斯伯恩;苏全民 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：一种使用原子力显微镜(AFM)探针从样品表面去除纳米级碎片的机械方法。探头的形状包括一个边缘，当探头横向移动到所述样品表面时，所述边缘可对所述碎片提供铲式作用。有利地，所述探针能够在不损坏所述碎片的情况下提升所述碎片，以更有效地清洁所述表面。边缘优选地通过聚焦离子束(FIB)铣削所述尖端的金刚石顶点而制成。
用于样品表面机械清洁纳米碎片装置制造方法

[发明专利]用于化学成像的原子力显微镜的红外光谱方法及装置-CN202211099728.5在审
发明人：凯文·柯约乐;克雷格·普拉特 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01Q60/34 文献下载
摘要：提供了用于获得具有低至几纳米的空间分辨率的极高灵敏度的化学成分图的方法及装置。在一些实施例中，能够通过组合三种技术生成该化学成分图：(1)使用红外辐射照射样本，而不是调谐到样本的吸收带；(2)优化调谐到特定靶材的机械耦合效率；(3)优化调谐到特定靶材的谐振检测。通过组合这些步骤可以获得(1)基于独特红外吸收的化学成分图；(2)通过极短距离的针尖‑样本相互作用增强的空间分辨率；(3)调谐至特定靶材的谐振放大。在其他实施例中，可以利用这些步骤中的任两个，仍然能够实现空间分辨率和/或灵敏度的实质改进。
用于化学成像原子显微镜红外光谱方法装置

[发明专利]用于化学成像的原子力显微镜的红外光谱方法及装置-CN201780074631.X有效
发明人：凯文·柯约乐;克雷格·普拉特 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01Q30/02 文献下载
摘要：提供了用于获得具有低至几纳米的空间分辨率的极高灵敏度的化学成分图的方法及装置。在一些实施例中，能够通过组合三种技术生成该化学成分图：(1)使用红外辐射照射样本，而不是调谐到样本的吸收带；(2)优化调谐到特定靶材的机械耦合效率；(3)优化调谐到特定靶材的谐振检测。通过组合这些步骤可以获得(1)基于独特红外吸收的化学成分图；(2)通过极短距离的针尖‑样本相互作用增强的空间分辨率；(3)调谐至特定靶材的谐振放大。在其他实施例中，可以利用这些步骤中的任两个，仍然能够实现空间分辨率和/或灵敏度的实质改进。
用于化学成像原子显微镜红外光谱方法装置

[发明专利]用于基于光热效应的红外扫描近场光学显微镜的方法与装置-CN201880028547.9有效
发明人：杨红华;克雷格·普拉特 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01Q70/08 文献下载
摘要：一种用于测量样本的子微米区域的红外吸收的系统和方法。红外光源可以照射位于与扫描探针显微镜(SPM)的针尖相互作用的区域中的样本，以产生与样本区域的红外吸收有关的光学性质的可测量变化的方式对样本进行刺激。探测光源指向样本和SPM针尖的区域，并且，从针尖和样本区域发出的探测光得到收集。所收集的光可用于导出样本区域的红外吸收光谱信息，可以是子微米尺度上的样本区域的红外吸收光谱信息。
用于基于光热效应红外扫描近场光学显微镜方法装置

[发明专利]基于X射线图像复检的产品故障预测方法及系统-CN202080064434.1在审
发明人：大卫·刘易斯·阿德勒;斯科特·约瑟夫·朱勒;道格拉斯·A.·克里斯桑 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：在一实施例中，X射线检测系统可以访问标记为不合格的一个或多个第一样本的第一组X射线图像。系统可以基于第一组X射线图像来调整分类算法。分类算法可以基于对相应X射线图像的分析将样本分类为合格或不合格类别。系统可以使用调整后的分类算法来分析多个第二样本的第二组X射线图像。第二样本可以是在调整分类算法之前的先前分析期间，通过分类算法分类为合格的先前被检测的样本。系统可以从第二组X射线图像中识别一个或多个所述第二样本。每个识别的第二样本可以通过调整后的分类算法被分类为不合格。
基于射线图像复检产品故障预测方法系统

[发明专利]基于X射线检测的过程控制方法及系统-CN202080064518.5在审
发明人：大卫·刘易斯·阿德勒;斯科特·约瑟夫·朱勒 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：在一实施例中，X射线检测系统可以为由第一工具处理的感兴趣样本捕获一个或多个X射线图像。X射线检测系统可以与第一工具在线，并且其检测速度可以为每分钟300mm2以上。系统可以基于X射线图像实时确定与感兴趣样本相关的计量信息。计量信息可以指示与感兴趣样本相关联的样本参数超出预定范围。系统可以向一个或多个第一工具或一个或多个第二工具提供指令或数据，以根据计量信息调整与各自工具相关联的过程参数。调整后的过程参数可以降低处理与超出预定范围的样本参数相关的用于处理后续样本的各自工具的误差概率。
基于射线检测过程控制方法系统

[发明专利]使用X射线检测设备缺陷的方法及系统-CN202080063092.1在审
发明人：大卫·刘易斯·阿德勒;斯科特·约瑟夫·朱勒;弗雷迪·埃里希·巴比安 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：在一实施例中，自动高速X射线检测系统在可以基本上正交于被检测样本平面的第一方向上生成被检测样本的第一X射线图像。第一X射线图像可以是高分辨率灰度图像。系统可以基于第一X射线图像来识别所检测样本的一个或多个感兴趣元件。第一X射线图像可以包括干扰第一X射线图像中的一个或多个感兴趣元件的干扰元件。系统可以基于第一X射线图像中灰度值的变化来确定与各个感兴趣元件相关联的一个或多个第一特征。系统可以基于与感兴趣元件相关联的一个或多个第一特征来确定一个或多个缺陷是否与相应的感兴趣元件相关联。
使用射线检测设备缺陷方法系统

[发明专利]使用X射线进行缺陷检测和分类的方法及系统-CN202080064940.0在审
发明人：大卫·刘易斯·阿德勒;弗雷迪·埃里希·巴比安 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：在一实施例中，自动高速X射线检测系统可以识别待检测的感兴趣对象的参考对象。每个参考对象可以具有与感兴趣对象相同的类型和组件。系统可以基于参考对象的X射线图像来生成感兴趣对象的参考模型。系统可以通过将感兴趣对象的X射线图像与参考模型进行比较来确定感兴趣对象是否与一个或多个缺陷相关。缺陷可以由一个或多个预先确定的缺陷模型表征，并且可以基于预先确定的缺陷模型划分为各自的缺陷类别。
使用射线进行缺陷检测分类方法系统

[发明专利]经由原子力显微镜进行纳米级动态力学分析(AFM-NDMA)-CN201980052345.2有效
发明人：谢尔盖·奥斯钦斯基;安东尼奥斯·鲁伊特;B·皮腾杰;赛义德-阿西夫·赛义德-阿玛努拉 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2019-08-02 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G01Q10/06 文献下载
摘要：一种基于原子力显微镜的设备和方法包括硬件和软件，其被配置为以动态方式收集并分析表示软材料在纳米级上的力学性质的数据，以绘制软材料样品的粘弹性性质。使用该设备作为现有原子力显微镜装置的补充。
经由原子显微镜进行纳米动态力学分析 afm ndma

[发明专利]对制造组件的子组件进行快速分类的方法及设备-CN202080052326.2在审
发明人：爱德华·R.·拉特纳;安德鲁·乔治·里德 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G06K9/62 文献下载
摘要：本公开提供一种用于对制造组件的子组件中检测到的缺陷进行快速分类的方法及装置。缺陷分类(1214)可以在缺陷检测(1213)之后发生，或者由于分类可以足够快以在缺陷检测期间实时执行，因此可以作为缺陷检测过程的一部分。在示例性实现中，该技术可用于实现对组件的多个子组件中检测到的缺陷进行并行地实时分类。该组件可以是例如具有硅内插器的多芯片封装，并且子组件可以包括例如硅通孔及焊点。也可以对其他类型组件的子组件中的缺陷进行分类。一实施例涉及一种对制造组件的子组件中检测到的缺陷进行分类的方法(1200)。另一实施例涉及一种使用所公开的检测组件的多个子组件的缺陷的方法来制造的产品。
制造组件进行快速分类方法设备

[发明专利]对制造组件的子组件进行快速检测的方法及设备-CN202080052396.8在审
发明人：爱德华·R.·拉特纳;胡仁杰 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本公开能够并行地实时检测组件的多个子组件。例如，组件可以是半导体封装，并且子组件可以包括硅通孔。一实施例涉及一种用于检测组件的多个子组件是否存在缺陷的方法(1100)，对于进行缺陷检测的每个子组件，所述方法包括以下步骤：从所述组件的图像数据中提取子组件图像(1104)；从所述子组件图像计算变换后的特征向量(1106、1108)；计算从所述变换后的特征向量到训练集中每个变换后的特征向量的成对距离(1110)；使用所述成对距离来确定邻近度度量(1112)；以及将所述邻近度度量与邻近度阈值进行比较，以检测所述子组件中的缺陷(1114)。另一实施例涉及使用所公开的检测组件的多个子组件是否存在缺陷的方法来制造的产品。还公开了其他实施例和特征。
制造组件进行快速检测方法设备

[发明专利]扭转翼探针组件-CN202080047803.6在审
发明人：胡水清;马丁·瓦格纳;王伟杰;苏全民 -专利权人： 布鲁克纳米公司
申请日： 2020-05-04 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：一种用于计量仪器的扭转探针包括通过扭杆耦合到支撑结构的悬臂。悬臂、支撑结构及扭杆的臂具有基本相同的厚度。
扭转探针组件

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