[发明专利]一种薄膜声学谐振器在审
| 申请号： | 202310073325.1 | 申请日： | 2023-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN116094485A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 张章;杨帅;吴珂;庄智强;张丽蓉;赵俊武;王超 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 姚宝然 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种薄膜声学谐振器，该薄膜声学谐振器包括衬底、声学反射镜、第一电极、压电层、第二电极、刻蚀停止层，声学反射镜设置于衬底，第一电极设置于衬底的一侧并覆盖声学反射镜，压电层的至少部分设置于第一电极背离衬底的一侧，第二电极设置于压电层背离第一电极的一侧，刻蚀停止层设置于第二电极背离压电层的一侧，薄膜声学谐振器还包括至少两层叠层组件，叠层组件设置于刻蚀停止层背离第二电极的一侧，叠层组件为框形结构，每一层叠层组件包括依次层叠的质量负载层和插入层，沿垂直于薄膜声学谐振器的厚度方向，至少两层叠层组件的至少一侧边缘交错设置。本申请的薄膜声学谐振器的品质因数较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声学 谐振器 | ||
【主权项】：
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