[发明专利]微机械惯性传感器在审
| 申请号： | 202310071146.4 | 申请日： | 2023-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN116466106A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | Z·切凯;B·西蒙尼;C·施文克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P3/44;G01P15/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 韩长永 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，其具有：带有第一电极(2)的衬底；和震动质量元件(5)，其中，在所述震动质量元件(5)内部布置有第二电极(3)，其中，所述第二电极(3)双金属构造。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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