[发明专利]一种真空型原位程序升温脱附测试方法及测试装置在审

专利信息
申请号: 202310041165.2 申请日: 2023-01-12
公开(公告)号: CN116046946A 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 邱恒山;邢延德;翟新航;杨贻迪;陆彬;张艳敏 申请(专利权)人: 郑州大学
主分类号: G01N30/02 分类号: G01N30/02;G01N30/72;G01N30/54;G01N30/00
代理公司: 郑州晟佳专利代理事务所(普通合伙) 41205 代理人: 张心龙
地址: 450000 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种真空型原位程序升温脱附测试方法及测试装置。该测试装置包括U型管反应器,U型管反应器具有供样品装入的样品段,U型管反应器上于样品段处设置有加热套,加热套连接有电源,电源连接有PID控制器,加热套处设置有热电偶,热电偶与PID控制器连接。U型管反应器的一个管口通过第一管道系统连接有载气气源和需要吸附的气体气源,第一管道系统上设置有真空泵。U型管的另一个管口通过第二管道系统连接有分子泵和质谱仪。本装置能够进行原位催化反应及真空TPD测试。本装置可用于常压气固反应。也可以在高真空状态下可对样品进行小量吸附,在程序升温过程中,所有脱附物被抽至质谱系统并检测,显著提高检测灵敏度和定量分析能力。
搜索关键词: 一种 真空 原位 程序 升温 测试 方法 装置
【主权项】:
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