[发明专利]原料熔液的表面状态的检测方法、单晶的制造方法及CZ单晶制造装置在审
| 申请号： | 202280014498.X | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN116888309A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 北川胜之 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 刘言;蔡飞飞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明为一种原料熔液的表面状态的检测方法，其在利用CZ法从坩埚内的原料熔液提拉单晶的单晶制造过程中，检测坩埚内的原料熔液的表面状态，其中，使用两台CCD照相机从不同方向同时拍摄坩埚内的原料熔液表面的任意相同检查区域，而获得检查区域的测量图像，使用两台CCD照相机的测量图像的视差数据，自动地检测从原料完全熔融的状态成为在原料熔液的表面形成有固化的状态的固化时机、及从在原料熔液的表面形成有固化的状态成为完全熔融的状态的熔融完毕时机中的一个以上。由此，提供原料熔液的表面状态的检测方法、单晶的制造方法及CZ单晶制造装置，其在利用CZ法进行单晶制造时，能够高精确度地检测原料熔液的固化及熔融完毕的时机，并能够减轻作业员负担。 | ||
| 搜索关键词： | 原料 表面 状态 检测 方法 制造 cz 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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