[发明专利]研磨用组合物在审
申请号: | 202280010432.3 | 申请日: | 2022-01-12 |
公开(公告)号: | CN116848211A | 公开(公告)日: | 2023-10-03 |
发明(设计)人: | 田边谊之;浅田真希 | 申请(专利权)人: | 福吉米株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李恩华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 提供可高水平兼顾抑制研磨速率的降低和消除HLM周缘隆起的研磨用组合物。提供用于在硅晶圆的预备研磨工序中使用的研磨用组合物。上述研磨用组合物包含磨粒、碱性化合物、螯合剂、表面活性剂、含氮水溶性高分子及水。上述碱性化合物的重量浓度(B)相对于上述表面活性剂的重量浓度(S)的比(B/S)为50以上。 | ||
搜索关键词: | 研磨 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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