[实用新型]一种晶体生长炉有效
| 申请号： | 202223492535.4 | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN219195219U | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏;徐文立;胡建宇;杜霆 | 申请（专利权）人： | 宁波恒普真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王芳 |
| 地址： | 315300 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种晶体生长炉，包括炉体、热场、感应线圈、大炉盖、小炉盖和升降模组，炉体固定在框架上，热场放置在热场支撑柱上，热场支撑柱放置在小炉盖上，可随小炉盖移动，感应线圈固定在线圈支撑柱上，线圈支撑柱放置在大炉盖上，电极由大炉盖引出，可随大炉盖移动。大炉盖与炉体以连接螺钉固定，升降模组与框架固定。装卸料时，升降模组带动小炉盖实现小炉盖和热场的往复运动。检修感应线圈时，可松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖同时移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 | ||
【主权项】：
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