[实用新型]一种半导体材料的单晶生长装置有效
| 申请号： | 202221370335.9 | 申请日： | 2022-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN217709750U | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 陈龙;陈瑜 | 申请（专利权）人： | 陕西铟杰半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B9/04 | 分类号： | C30B9/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 727031 陕西省铜川市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体材料的单晶生长装置，包括生长装置和密封装置，所述生长装置包括有外炉，所述外炉的内壁左右两侧装设有固定板，所述固定板远离外炉内壁的一侧装设有密封仓，所述固定板的底部装设有保温板，所述保温板在密封仓与外炉的内壁之间，所述密封仓的内壁左右两侧装设有坩埚，所述密封仓的内壁底部装设有放置台，所述放置台的顶部装设有加热器；所述密封装置包括有放置在密封仓顶部的密封罩，所述密封罩的内部插接有压杆，所述压杆的上端装设有手柄，所述手柄在密封罩的上方，所述压杆的下端装设有限位板。该半导体材料的单晶生长装置，具有密封效果好，可隔热保温的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 生长 装置 | ||
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