[实用新型]LED电子阻挡层、LED外延片及半导体器件有效
申请号: | 202220718660.3 | 申请日: | 2022-03-30 |
公开(公告)号: | CN217544638U | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 韩娜;王国斌 | 申请(专利权)人: | 江苏第三代半导体研究院有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/22 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 王广浩;唐灵 |
地址: | 215101 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种LED电子阻挡层、LED外延片及半导体器件,位于量子阱有源层和接触层之间,包括BAlN阻挡层,BAlN阻挡层包括:BAlN粗化层,BAlN粗化层至少包括第一粗化结构;BAlN非粗化层,BAlN粗化层位于量子阱有源层和BAlN非粗化层之间。本实用新型的LED电子阻挡层利用BAIN阻挡层取代常规的p型AlGaN电子阻挡层,可以减小与量子阱的界面缺陷,规避高Al组分AlGaN EBL的p型掺杂问题。同时,通过在BAIN阻挡层下方粗化形成BAIN粗化层,可以实现对有源区电子的储藏,进一步减小有源区电子的溢出问题,进而增加发光强度,提高深紫外LED的功率和效率。 | ||
搜索关键词: | led 电子 阻挡 外延 半导体器件 | ||
【主权项】:
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