[实用新型]一种点源蒸镀装置及共蒸镀膜层点源蒸镀结构有效
| 申请号： | 202220135977.4 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN216947163U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 庄丹丹;孙玉俊 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种点源蒸镀装置及共蒸镀膜层点源蒸镀结构，其包括点源系统和晶振系统，点源系统包括第一点源滑轨，所述第一点源滑轨上滑动连接有至少两个点源；所述晶振系统包括第一晶振滑轨，所述第一晶振滑轨上滑动连接有至少两个晶振；所述第一点源滑轨上的工作位和第一晶振滑轨上的工作位对应设置；进行蒸镀时，将其中一个点源推送至第一点源滑轨的工作位上，同时将配套的晶振推送至第一晶振滑轨的工作位上。本实用新型采用轮替式点源蒸镀的设计，保持蒸镀角不变，膜厚均匀的部分可完好地叠加到一起，降低精细金属掩膜板的蒸镀补充调整难度，同一个器件或面板中的光电性能分布均匀，降低器件或面板的损害风险，提高器件或面板的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 点源蒸镀 装置 镀膜 层点源蒸镀 结构 | ||
【主权项】：
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