[发明专利]一种氧化物靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202211636891.0 | 申请日： | 2022-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN116199497A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 徐苗;徐华;李民;陶洪;邹建华;王磊;彭俊彪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/638 |
| 代理公司： | 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 | 代理人： | 温纯 |
| 地址： | 510000*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体材料技术领域，具体涉及一种氧化物靶材及其制备方法。所述氧化物靶材包括元素A的氧化物、元素B的氧化物、元素R的氧化物和元素M的氧化物；所述元素A为铟；所述元素B为镓、锌、锡中的一种或两种以上的组合；所述元素R为铈、镨、镱、镝、铽中的一种或两种以上的组合；所述元素M为钪，硅，钛，钽，锗，锑的一种或两种以上组合。本发明通过在氧化物靶材中引入M的氧化物，细化了氧化物靶材的晶粒尺寸，使氧化物靶材致密度高，元素分布与微观结构均匀。此外，本发明提供的制备方法可以实现控制氧化物靶材晶相结构的目的，使氧化物靶材具有较小的晶粒尺寸且微观结构均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南理工大学，未经华南理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211636891.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
