[发明专利]一种快速确定晶圆系统良率和随机良率的方法在审
| 申请号： | 202211455393.6 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN115840873A | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 陈一宁;乔驿博 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G06F17/18 | 分类号： | G06F17/18 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 徐慧明 |
| 地址： | 310000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种快速确定晶圆系统良率和随机良率的方法，通过基于获取的晶圆系统内晶圆总片数做出判断处理，一旦晶圆总片数小于第一预设阈值，则判定晶圆系统的良率主要由随机良率决定，计算该随机良率并进一步计算系统良率；一旦晶圆总片数不小于第一预设阈值，判定晶圆系统的良率主要由系统良率决定，计算该系统良率并进一步计算随机良率，再基于记录到的系统良率和随机良率分别与测量次数之间的关系判断系统良率集合和随机良率集合均符合正态分布时，则判定晶圆系统工艺稳定，否则，判定晶圆系统工艺不稳定，从而提高了晶圆系统的良率和随机良率的确定速度及精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 确定 系统 随机 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211455393.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
