[发明专利]一种高斯激光束发散角测量装置与方法在审

专利信息
申请号: 202211260075.4 申请日: 2022-10-14
公开(公告)号: CN115560849A 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 徐博文;周蜀渝 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01J1/42 分类号: G01J1/42;G01J1/04
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及激光检测技术领域,公开了一种高斯激光束发散角测量装置与方法,包括:使待测激光束穿过偏振分光棱镜,正入射进体相位光栅和1/4波片,分成光强比例约为0.25:0.5:0.25的三个光斑,经由反射镜反射再次通过1/4波片和体相位光栅,并由偏振分光棱镜反射至CCD相机中,通过改变具有可移动镜架的反射镜到体相位光栅的距离,得到不同距离x0时零级光斑强度在所有光斑强度中的占比。再根据零级光斑的光强占比与光束发散角的关系,通过公式拟合出待测激光束发散角。
搜索关键词: 一种 激光束 发散 测量 装置 方法
【主权项】:
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