[发明专利]一种高斯激光束发散角测量装置与方法在审
申请号: | 202211260075.4 | 申请日: | 2022-10-14 |
公开(公告)号: | CN115560849A | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 徐博文;周蜀渝 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J1/04 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明涉及激光检测技术领域,公开了一种高斯激光束发散角测量装置与方法,包括:使待测激光束穿过偏振分光棱镜,正入射进体相位光栅和1/4波片,分成光强比例约为0.25:0.5:0.25的三个光斑,经由反射镜反射再次通过1/4波片和体相位光栅,并由偏振分光棱镜反射至CCD相机中,通过改变具有可移动镜架的反射镜到体相位光栅的距离,得到不同距离x |
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搜索关键词: | 一种 激光束 发散 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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