[发明专利]一种等离子体电极变形镜在审
| 申请号： | 202211025460.0 | 申请日： | 2022-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115390237A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 吴振海;张君;龙蛟;薛峤;郑建刚;邵婷;肖凯博;张晓璐;林东晖;张雄军 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06;G02B7/185;H05H1/24;H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 于晶晶 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体电极变形镜，其技术方案要点是包括窗口；反射镜，其与窗口平行设置；金属阴极，其位于窗口与反射镜之间；金属阳极，其位于窗口与反射镜之间；以及放电腔，其位于窗口与反射镜之间，其内存储有放电气体，金属阴极和金属阳极与放电腔内的放电气体接触；通过两电极对放电气体进行电离，形成低温等离子体，等离子体含有大量可自由移动的电子和离子可视为导体，其次，低温等离子体对通过的激光几乎无影响，因此可以作为透明电极置于反射镜表面用于驱动压电层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 电极 变形 | ||
【主权项】：
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