[发明专利]一种测量薄膜抗拉伸强度的测试方法及测试装置有效
| 申请号： | 202210961975.5 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115060582B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘浩 | 申请（专利权）人： | 四川至臻光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/06 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 邓园 |
| 地址： | 610000 四川省成都市新津县金华*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于光学薄膜性能测试技术领域，公开了一种测量薄膜抗拉伸强度的测试方法及测试装置，其中的测量薄膜抗拉伸强度的测试方法，包括以下方法：提供一长条状且具有呈光学镜面的镀膜面的陪镀片，在镀膜面镀有待表征的膜层；将陪镀片的一端固定且另一端悬空，使其呈悬挑状态；在陪镀片的上方设置光源和CCD信号采集器，CCD信号采集器位于光源光经陪镀片上膜层反射后的反射路径上；在初始温度下，记录陪镀片上的膜层的初始应力σ0，然后使陪镀片逐渐升温，陪镀片发生热膨胀，当膜层升温到出现裂纹时，通过CCD信号采集器采集光偏移量。本发明表征薄膜的抗拉伸强度，并且该测试方法可以为光学镀膜工艺提供一种新的评价视角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 薄膜 拉伸 强度 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
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