[发明专利]一种晶圆背封膜下亚表面缺陷检测系统及其方法在审
| 申请号： | 202210794689.4 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115100168A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 郑叶龙;邬启帆;赵美蓉;黄银国 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/136;G06T7/194;G06T5/30;G06T5/20;G06T7/11;G06T5/00;G06V10/764 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 韩帅 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆背封膜下亚表面缺陷检测系统及其方法，所述检测系统包括：检测黑箱，用于放置检测平台与检测终端，并屏蔽外界环境噪声与杂散光对检测结果的影响；检测平台，用于将待检测晶圆移动至预定检测位置，进行晶圆背封膜下亚表面缺陷检测；检测终端，用于控制待检测晶圆的上下料运动，并以可视化形式反馈晶圆背封膜下亚表面缺陷检测结果；本发明具有检测速度快、缺陷识别率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆背封膜下亚 表面 缺陷 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210794689.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
