[发明专利]基于振镜扫描的宽禁带半导体紫外探测器成像系统及方法在审
| 申请号： | 202210429736.5 | 申请日： | 2022-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN114812814A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王嘉辉;陈华宽;仲谋;陈泽鹏;方泓锦;江灏;蔡志岗 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/12;G06T5/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于振镜扫描的宽禁带半导体紫外探测器成像系统及方法，系统包括宽禁带半导体紫外探测器、二维振镜模块及其触发装置、扫描像素控制模块，其中：宽禁带半导体紫外探测器获取目标区域的光信号；二维振镜模块为两个扫描方向正交的振镜，通过振动对目标区域进行扫描；触发装置驱动二维振镜模块；扫描像素限制模块对探测器接收的光束形状大小进行限制；目标区域发出的光线通过二维振镜模块和扫描像素限制模块被宽禁带半导体紫外探测器接收。方法包括图像像素限制，振镜扫描控制，解卷积恢复成像。相比于传统探测方法，本发明能通过单点的宽禁带半导体紫外探测器对日盲区的高灵敏度成像，提高探测精度以及确定探测目标的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 扫描 宽禁带 半导体 紫外 探测器 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
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