[发明专利]具有升降臂组件的晶体生长装置在审
| 申请号： | 202210304433.0 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN115110142A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 约翰·A·里斯;乔尔·C·斯特福;布莱恩·M·雷普曼 | 申请（专利权）人： | 林顿晶体技术公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 升降臂可旋转地安装到晶体生长装置以服务晶体生长装置的热区。低速、大功率升降臂致动器可以控制升降臂的竖直定位。固定到升降臂上的可移动夹持臂可与炉罐的凸缘接合，以便于通过升降臂的相关升高、降低或旋转来将炉罐升高和移动到所需位置。安装到升降臂的远端的绞盘可以控制穿过升降臂的内部并从夹持臂之间的开口离开的绳索的卷绕。绳索可以包括用于联接到坩埚的附接机构。因此，绞盘可以以远远超过升降臂致动器的竖直速度的竖直速度提升坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 升降 组件 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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