[发明专利]具有升降臂组件的晶体生长装置

权利要求书

1.用于晶体生长装置的升降臂组件，包括：

升降臂主体，具有臂立柱和从所述臂立柱向远侧延伸的臂管；

绳索，具有近端区域和远端区域；

绞盘，联接到所述升降臂主体，所述绞盘具有卷轴，所述卷轴联接到所述绳索的近端区域以在升高位置和降低位置之间移动所述远端区域；

滑轮，位于所述臂管内，用于支撑所述绳索并将所述绳索导向成穿过所述臂管的绳索开口；以及

可扩展护罩，具有围绕所述绳索开口联接到所述臂管的顶端以及联接到所述绳索的远端区域的底端，

其中，部分地由所述可扩展护罩、所述绳索的远端区域和所述臂管限定密封环境，

其中，当所述绳索的远端区域处于所述升高位置时，所述可扩展护罩处于压缩配置，以及

其中，当所述绳索的远端区域处于所述降低位置时，所述可扩展护罩处于扩展配置。

2.如权利要求1所述的升降臂组件，还包括：

一组夹持臂，可旋转地联接到所述臂管并在所述臂管下方延伸，

其中，所述一组夹持臂中的每个夹持臂能够在夹持位置和非夹持位置之间移动，以及

其中，所述可扩展护罩位于所述一组夹持臂中的夹持臂之间。

3.如权利要求2所述的升降臂组件，还包括：

一个或更多夹持致动器，联接到所述升降臂主体并联接到所述一组夹持臂中的夹持臂，

其中，所述一个或更多夹持致动器的致动使所述一组夹持臂中的夹持臂在所述夹持位置和所述非夹持位置之间移动。

4.如权利要求3所述的升降臂组件，其中：

所述一组夹持臂包括第一夹持臂和第二夹持臂；

所述一个或更多夹持致动器包括分别联接到所述第一夹持臂和所述第二夹持臂的第一活塞致动器和第二活塞致动器；

所述第一活塞致动器联接到所述第一夹持臂与所述第二夹持臂之间的所述臂管，并且能够延伸以使所述第一夹持臂朝向所述夹持位置移动；以及

所述第二活塞致动器联接到所述第一夹持臂和所述第二夹持臂之间的所述臂管，并且能够延伸以使所述第二夹持臂朝向所述夹持位置移动。

5.如权利要求3所述的升降臂组件，还包括：

控制器，联接到所述一个或更多夹持致动器，

其中，当所述绳索的远端区域没有处于所述升高位置时，所述控制器禁止所述一个或更多夹持致动器的致动。

6.如权利要求2所述的升降臂组件，其中：

所述一组夹持臂包括第一夹持臂和第二夹持臂；

所述第一夹持臂、所述第二夹持臂、所述可扩展护罩和所述绞盘位于由彼此相交的所述臂管和所述臂立柱限定的竖直平面内；以及

所述可扩展护罩与所述第一夹持臂和所述第二夹持臂等距离定位。

7.如权利要求1所述的升降臂组件，其中，所述绳索的远端区域包括能够可移除地联接到坩埚盖的附接机构，所述可扩展护罩的底端联接到所述附接机构。

8.如权利要求1所述的升降臂组件，其中，所述绞盘联接到所述臂管的远端。

9.如权利要求1所述的升降臂组件，其中，所述绞盘还包括限位开关组件，所述限位开关组件机械地联接到所述卷轴，以在所述绳索的远端区域处于所述升高位置时输出第一信号，并且在所述绳索的远端区域处于所述降低位置时输出第二信号。

10.如权利要求1所述的升降臂组件，

其中，所述臂立柱包括用于将所述升降臂主体可旋转地支撑在竖直轴上的一个或更多支承件，以及

其中，所述臂立柱的顶端包括键区，其中所述键区能够可移除地插入键安置件内以促进所述升降臂主体绕所述竖直轴旋转。