[发明专利]洁净室中的保护性供气系统及提供保护性气流的方法在审
| 申请号： | 202180042361.0 | 申请日： | 2021-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN115715360A | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | K·哈格斯特罗姆;I·格伦瓦尔 | 申请（专利权）人： | 霍尔顿公司 |
| 主分类号： | F24F3/167 | 分类号： | F24F3/167 |
| 代理公司： | 北京市君合律师事务所 11517 | 代理人： | 吴龙瑛;闵森森 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于控制洁净室中供气气流的保护性供气系统，其中所述洁净室包括易遭污染的洁净区(1)，所述保护性供气系统包括第一供气扩散器(2)和第二供气扩散器(3)，所述第一供气扩散器(2)和所述第二供气扩散器(3)布置于洁净区(1)的相对侧的所述洁净室的天花板(4)内，并与所述洁净室的侧壁间隔开，其中每个所述供气扩散器上设有多个喷嘴(8)，喷嘴(8)被配置为扩散第一气流(5)和第二气流(6)，所述第一气流(5)具有第一气流体积A l/s，沿着所述洁净室的天花板(4)被导向所述洁净区(1)，所述第二气流(6)具有第二气流体积B l/s，沿着所述洁净室的天花板(4)被导向所述洁净室的周围，控制器(7)，所述控制器(7)连接到所述供气扩散器，其中，所述控制器(7)被配置为调节所述第一气流体积A和所述第二气流体积B以及所述第一气流体积A和所述第二气流体积B的比例。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净室 中的 保护性 供气 系统 提供 气流 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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