[发明专利]基板拍摄装置在审
| 申请号： | 202111215335.1 | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN114070977A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 古闲法久;西山直;野田康朗 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H04N5/225 | 分类号： | H04N5/225;H04N5/235;H04N5/247;H01L21/67;G01N21/88;G01N21/95;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板拍摄装置。抑制设备事故且谋求基板拍摄装置的小型化和低成本化。检查单元(U3)包括：保持台，其构成为保持晶圆(W)而使晶圆(W)旋转；镜构件(430)，其具有反射面(432)，该反射面(432)相对于保持台的旋转轴线倾斜，并且与保持到保持台的晶圆(W)的端面(Wc)和背面(Wb)的周缘区域(Wd)相对；照相机，其具有拍摄元件，来自被保持到保持台的晶圆(W)的表面(Wa)的周缘区域(Wd)的光、以及来自被保持到保持台的晶圆(W)的端面(Wc)的光被镜构件(430)的反射面(432)反射而成的反射光都经由镜头输入该拍摄元件。 | ||
| 搜索关键词： | 拍摄 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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