[发明专利]基板拍摄装置

权利要求书

1.一种照明模块，所述照明模块是配置于被保持到保持部的基板的上方的、基板拍摄装置用的照明模块，所述照明模块包括：

光源，其朝向所述基板向下方照射光；以及

凸型的圆柱透镜，其配置于所述光源的下方且朝向下方突出，

所述圆柱透镜构成为将来自所述光源的光沿着圆柱面的周向放大。

2.根据权利要求1所述的照明模块，其中，

该照明模块还包括光散射构件，该光散射构件配置在所述光源与所述圆柱透镜之间，该光散射构件构成为将来自所述光源的光散射来产生散射光，

所述圆柱透镜构成为将所述散射光沿着圆柱面的周向放大。

3.根据权利要求1或2所述的照明模块，其中，

所述光源包括多个点光源，所述多个点光源沿着与所述光源及所述圆柱透镜排列的方向交叉的方向排列成一列，

所述圆柱透镜的轴沿着所述多个点光源排列的方向延伸。

4.根据权利要求3所述的照明模块，其中，

所述多个点光源沿着被保持到所述保持部的所述基板的径向排列成一列。

5.一种基板拍摄装置，包括：

根据权利要求1～4中的任一项所述的照明模块；

所述保持部；以及

照相机，其具有拍摄元件，来自被保持到所述保持部的所述基板的表面的第1光经由镜头输入该拍摄元件。

6.根据权利要求5所述的基板拍摄装置，其中，

该基板拍摄装置还包括镜构件，该镜构件具有反射面，

所述保持部构成为保持所述基板而使该基板旋转，

所述反射面相对于所述保持部的旋转轴线倾斜，并且与被保持到所述保持部的所述基板的端面及背面的周缘区域相对，

经由镜头向所述拍摄元件输入所述第1光、以及来自被保持到所述保持部的所述基板的端面的第2光被所述镜构件的所述反射面反射而成的反射光，

所述照明模块向被保持到所述保持部的所述基板的表面照射来自所述光源的光，并且以来自所述光源的光被所述镜构件反射而成的反射光到达被保持到所述保持部的所述基板的端面的方式将来自所述光源的光向所述镜构件的所述反射面照射。

7.根据权利要求5或6所述的基板拍摄装置，其中，

所述第1光是来自所述基板的表面的周缘区域的光，

所述照明模块将来自所述光源的光向所述基板的表面的周缘区域照射。