[发明专利]一种高透过率深紫外滤光片的制备方法在审
| 申请号： | 202111107054.4 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113802093A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王永杰;戴乾;王峰 | 申请（专利权）人： | 武汉正源高理光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/10;C23C14/22;C23C14/30;G02B5/20;G02B5/28 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 刘点 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高透过率深紫外滤光片的制备方法，它包括以下步骤：步骤1：选定滤光片的初始结构为：Air/(LH)m/Sub/(LH)n/Air。有益效果在于：本发明所述的高透过率深紫外滤光片采用金属Hf和HfO2作为高折射率膜料，SiO2作为低折射率膜料，实现了220nm波长处透过率大于80％，235‑290nm处的透过率平均值小于1％，减反射膜和滤光截止膜使用同样的两种镀膜材料，简化了制造工艺，滤光片一致性好，降低了滤光片制造对设备的限制，减低了制造成本，便于批量化生产，同时由于波长220nm的紫外线穿透能力最弱，无法穿透大部分的透明玻璃、塑料，且具有传统紫外灯同样的消毒杀菌效果，因而该滤光片在应用于杀菌场所的同时有效解决了紫外消毒杀菌时有人在场的安全问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透过 深紫 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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