[发明专利]反射率热成像仪测试模块及测试方法在审
| 申请号： | 202111027584.8 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113948497A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 付志伟;王岩;查志伟;王健;贺致远;黄旭;杨晓锋;黄云;陈思;詹小华 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郭凤杰 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体测温技术领域，公开了一种反射率热成像仪测试模块及测试方法，包括第一测试样品区域，所述第一测试样品区域包括以不同间隔距离排布的多条金属线，每条所述金属线的两端都设有焊盘，且每条所述金属线的尺寸均相同；第一功率模块，与任意两条相邻的所述金属线的焊盘相连接，用于向任意两条相邻的所述金属线提供第一测试电信号。利用本公开提供的反射率热成像仪测试模块可以实现对反射率热成像仪的关键指标进行测试验证，从而可以对反射率热成像仪的测试性能进行进一步研究与提高。 | ||
| 搜索关键词： | 反射率 成像 测试 模块 方法 | ||
【主权项】：
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