[发明专利]一种低应力类金刚石耐磨涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202110930166.3 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113621926A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 贾鑫;黄鹭;孙淼;高思田;施玉书 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C16/27;C23C16/511;C23C14/06;C23C16/02;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于耐磨涂层材料制备领域，具体涉及一种低应力类金刚石耐磨涂层及其制备方法。本发明提供的低应力类金刚石耐磨涂层，包括依次层叠的含金属过渡层、纳米金刚石过渡层和类金刚石涂层。本发明利用纳米金刚石过渡层与类金刚石涂层的近同质外延作用，增加类金刚石中碳元素的过饱和度，降低类金刚石涂层沉积难度，同时降低了类金刚石沉积过程中的残余应力，提高类金刚石涂层与纳米金刚石过渡层结合强度。而且，由于引入了纳米金刚石过渡层，在基体和类金刚石涂层之间形成桥梁作用，提升了类金刚石涂层的承载能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应力 金刚石 耐磨 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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