[发明专利]一种高收集效率的扫描电镜电子探测器在审
| 申请号： | 202110823237.X | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113421813A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 史鑫尧;郭云飞;戴晓鹏;赫松龄;贺羽;张伟 | 申请（专利权）人： | 无锡量子感知技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其提高二次电子或者背散射电子的收集效率、能够进一步改善图像的信噪比和分辨力。其包括：栅网；法拉第杯；闪烁体；光导柱；光电倍增管；高压电源；电流放大电路板；不锈钢外壳；法拉第杯的电子信号输入端设置有外凸的筛网，法拉第杯的电子信号输出端朝向闪烁体布置，闪烁体的光子信号输出端朝向光导柱的输入端布置，导管柱的输出端连接至光电倍增管的信号输入端，光电倍增管的信号输出端连接电流放大电路板的信号输入端，光电倍增管连接有高压电源；不锈钢外壳内包覆有高压电源、光电倍增管、光导柱、闪烁体，不休钢外壳的前部输入端固装有法拉第杯。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 收集 效率 扫描电镜 电子 探测器 | ||
【主权项】：
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