[发明专利]一种鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻萃取方法有效
| 申请号： | 202110798564.4 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113253089B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 苏炳熏;杨展悌;叶甜春;罗军;赵杰 | 申请（专利权）人： | 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;澳芯集成电路技术（广东）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R27/02;G06F17/10 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 曹慧萍 |
| 地址： | 510535 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻萃取方法，其可避免漏电流严重的问题出现，可提高源漏寄生电阻提取准确性，该方法包括：将源漏寄生电阻分解为若干分解寄生电阻，根据分解寄生电阻的分布情况，划分不同测试区间，基于开尔文测试结构测量不同测试区间的源漏寄生电阻，测量不同测试区间的鳍长度，基于直线方程、不同测试区间的源漏寄生电阻、鳍长度，计算获取分解寄生电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 场效应 晶体管 寄生 电阻 萃取 方法 | ||
【主权项】：
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